中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037741 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9037741
Cluster tools with 2-chamber, 8"
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MarkII / Oxide etch
Position B: MarkII / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: CH-A:ENI OEM-12A CH-B:ENI OEM-12B-02
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Has gas panel remote mini-controller
Gas Panel Pallet:
MFC type: 8-lines per chamber
Gas line (gas name, MFC size): STEC SEC-4400MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: CHF3/100/SEC-4400
Line 2: O2/40/SEC-4400
Line 3: CH2F2/30/SEC-4400
Line 4: CF4/100/SEC-4400
Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX
Line 6: HBr/200/SEC-4400
Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400
Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400
Chamber B:
Line 1: CHF3/100/SEC-4400
Line 2: O2/40/SEC-4400
Line 3: CH2F2/30/SEC-4400
Line 4: CF4/100/SEC-4400
Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX
Line 6: HBr/200/SEC-4400
Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400
Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400
Mainframe:
Loadlock type: 29-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak button
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLAB HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactormは、プロセス技術開発のための費用対効果の高い大量ツールです。この原子炉は、セラミックスや金属などの幅広い先端材料を低コストで高効率で生産することができます。リアクターのコア機能はモジュラー設計であり、異なるアプリケーションやプロセスにカスタマイズすることができます。AMAT P5000 MxPリアクターは、材料反応の柔軟性を可能にしながら、温度、圧力、組成制御の最適なレベルをユーザーに提供するように設計されています。この原子炉は500°Cまでの温度と5 barまでの圧力を処理することができます。それによりよい空気循環のための特別な通気システムが付いているガスの入口そして出口のための上そして底の港があります。この原子炉はまた、温度と反応パラメータを正確に制御するために調整可能な加熱ゾーンを備えています。アプライドマテリアルズP5000 MxPリアクタのモジュール設計により、ハードウェアとソフトウェアを容易に追加でき、最適なプロセスルーティングが可能です。この原子炉は、効率的な大量生産に必要な各種センサ、ポンプ、その他の部品と統合することができます。さらに、原子炉は、コンピュータ制御反応、自動化されたデータ収集および分析を含む、いくつかの制御および監視システムで設計されています。MxP原子炉の性能P5000最大化するために、原子炉はしばしば電気化学セル、蒸着チャンバ、プラズマエッチングユニットなどの二次プロセッサと結合される。また、材料テンプレートの豊富なライブラリも備えており、目的の最終製品を素早く切り替えることができます。これは、化学蒸着、スパッタリング、反応イオンエッチングなどのプロセス技術と組み合わせて使用する場合に特に有利です。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPリアクターは、高度な材料開発と製造のための信頼性と費用対効果の高いツールです。この原子炉のモジュール設計と多種多様な機能により、ユーザーは特定の用途に合わせてシステムを調整および拡張することができます。このような高精度な温度と組成制御により、プロセス制御、製品品質の向上、汎用性の向上が可能になります。
まだレビューはありません