中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037735 を販売中
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販売された
ID: 9037735
ヴィンテージ: 1992
Cluster tool with 2-chamber, 8"
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MxP / Oxide etch
Position B: MxP / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Gas Panel Pallet:
(5) Insert gas lines per chamber
MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-4400
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Chamber B:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Mainframe:
Loadlock type: 8-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak detector
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLABE HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPは、幅広いプロセス用に設計された半導体製造炉です。スループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計された高度なハイスループットツールです。AMAT P5000 MxPのモジュラー設計とオートメーションの柔軟性により、迅速なプロセス開発とプロセスの最適化が容易になり、より高い歩留まりで生産サイクルを短縮できます。アプライドマテリアルズP5000 MxPは、正確に制御された圧力と温度チャンバ、最適化されたプラズマ源、および自動化されたプロセス監視および故障検出システムを備えています。圧力チャンバは、安定した温度、圧力、および酸素レベルを維持することにより、一貫したプロセス結果を保証するために正確に設計されています。特殊な高出力の周波数アジャイルプラズマ源も含まれており、プロセスフローを正確に制御できます。MxPの自動化されたプロセス監視および障害検出システムP5000、ユーザーがリアルタイムでプロセスパラメータを調整し、プロセスのステータスに関する最新情報を得ることができます。これにより、生産プロセスに大幅な遅延が生じる前に、潜在的な問題を迅速に特定し、是正措置を講じることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPは、プロセスの状態を管理および監視し、視覚化を作成するためのさまざまな機能を備えた使いやすいソフトウェアスイートでサポートされています。ソフトウェアスイートは、データ分析とレポート作成、レシピ作成、リアルタイムプロセス監視、および自動故障検出をサポートします。さらに、自動化されたシステムにより、生産プロセスを効率的に管理し、プロセス目標を達成するためのパラメータを迅速に調整できます。AMAT P5000 MxPは、幅広いプロセス向けに設計された高度で高性能で柔軟性の高い原子炉システムです。APPLIED MATERIALS P5000 MxPの精密エンジニアリングおよび自動化されたプロセス管理機能により、プロセスを迅速に開発および最適化し、スループットを最大化し、ダウンタイムを削減できます。高度なシステムとソフトウェアの助けを借りて、P5000 MxPは信頼性の高い効率的な半導体製造プロセスに最適です。
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