中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293816535 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPリアクターは、化学蒸着（CVD）および物理蒸着（PVD）プロセスを提供する高度な蒸着ソリューションです。本装置は、大容量の低圧チャンバを採用し、制御性を向上させた薄膜成膜を高速化します。太陽電池製造、MEMS/NEMSデバイス製造、スパッタリング、イオンビームエッチングなど、デバイス製造の半導体業界で広く使用されています。このシステムは、2つの原子炉室を備えた5つのプロセスポッドを備えています。両チャンバーはターボ分子ポンプと統合マスフローコントローラに接続されています。各ポッドは独立して動作し、さまざまな種類のプロセスとレシピを同時に実行する柔軟性を提供します。このユニットは、数分で1つのプロセスから別のプロセスに急速に変更する機能を提供します。これにより、ユーザーは一貫した高収量の生産実行のためにレシピを最適化できます。AMAT P5000 MxPリアクタのプロセスチャンバーは、高度な充電結合デバイス（CCD）ビード/ワイヤフィードマシンを使用して、ツールの寿命にわたって正確で再現性のある蒸着を保証します。このアセットは、乾式クリアチューブフィードオプションを使用して、明確で乾燥した作業ゾーンを作成します。両方の送りオプションは、低粒子、低真空であることがテストされており、チャンバー部品の寿命を延ばすために洗濯可能です。このモデルのAuto-Tuneコントローラは、自動的に蒸着レシピを最適化するために、室温および圧力測定値を継続的に取得するように設計されています。これにより、スループットと再現性を最大化できます。APPLIED MATERIALS P5000 MxPには、機器データを記録する統合データロガーが搭載されており、ユーザーは時間の経過とともにシステムの健全性を追跡できます。このユニットデータは、暗号化されたローカルメモリカードに保護され、保存され、データの整合性とプライバシーを確保します。結論として、P5000 MxPリアクターは、化学蒸着（CVD）および物理蒸着（PVD）プロセスを提供する高度な蒸着ソリューションであり、スループットと再現性が向上します。CCDビード/ワイヤフィードマシンは、オートチューンコントローラと組み合わせて、優れたプロセス結果と最小限のメンテナンスでスムーズな操作を可能にします。暗号化されたローカルメモリカードは、データの整合性とプライバシーを可能にします。このツールは、デバイス製造のための半導体業界や同様のアプリケーションのための他の産業で広く使用されています。