中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、パルス連続ロードロック（PCL）、フラッシュランプアニール（FLA）、および3Dスキャンプロセスを利用して高度な電子デバイスを製造するマルチチャンバーリアクタシステムです。また、処理パラメータへの容易なアクセスを提供し、複数の並列プロセスステップをサポートしています。AMAT P5000 MxP+は、42 cm x 24 cm PCLを備えており、高温プロセスと超音波プロセスの両方において基板の急速なロードとアンロードを可能にします。内蔵のロードポートとオンボードマイクロコントローラを使用して、正確なプロセス制御を行い、基板処理中の酸素と水分を厳密に制御できます。フラッシュランプアニール（FLA）は、光エネルギーの超短パルスを使用して、基板を外部に加熱する必要なく高エネルギーアニーリングを提供します。このプロセスにより、温度、アニーリング時間、エネルギー拡散などの重要なプロセスパラメータを厳格に許容することができ、優れた自己整列制御を維持します。3Dスキャンプロセスは、基板表面の高解像度の2次元イメージングを提供します。近赤外線カメラを使用して正確な3Dサーフェスマッピングが可能で、欠陥の迅速な特定、輪郭の分析、特徴の測定に役立ちます。これにより、より効率的なプロセス開発と基板特性評価が可能になります。応用材料P5000 MxP+には、電子レシピ転送、炉の制御、チャンバーの監視、生産追跡、データロギングをサポートするソフトウェアが装備されています。これにより、プロセスの自動化と重要なプロセスパラメータのリアルタイム制御が可能になります。さらに、デジタルタッチスクリーンシステムは、シングルステップ操作でプロセスパラメータに簡単にアクセスできます。これにより、高速で正確で正確な処理が保証されます。P5000 MxP+は、高度なデバイス製造の精密な制御を提供するように設計された高度なマルチチャンバーリアクタシステムです。フラッシュランプアニール技術、3Dスキャンプロセス、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、研究および産業用の両方での使用に適しています。