中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293607187 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPは、高スループット材料処理アプリケーション向けに設計された先進的な原子炉です。AMAT P5000 MxPリアクターは、エッチング、蒸着、急速熱処理など、複数の同時プロセスを実行することができます。この原子炉を使用して、多層半導体デバイスを作成したり、既存の効率の低い製造プロセスを置き換えることができます。応用材料P5000 MxPは、すべての金属、金属シール、シングルウェーハ加工チャンバーです。高度なコンフォーマルシールド装置を備えており、大型基板サイズの取り扱いに対応するように設計されています。モジュラー構成により、既存の製造ライン・インフラストラクチャにP5000 MxPを容易に統合できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPリアクターは、大きな基板サイズを使用しても均一なプロセス室温と分布を提供します。さらに、AMAT P5000 MxPは完全に自動化されたホットウォール温度制御システムを備えており、プロセスチャンバーの温度均一性をさらに向上させます。応用材料P5000 MxPは、いくつかの高度なプロセス制御機能を提供します。これには、リアルタイムのプロセス監視とデータロギング、自動化されたレポートおよびドキュメント管理システムが含まれます。これにより、効率的なプロセスの再現性が確保され、手動プロセスの信頼性が低下します。P5000 MxPには、高度なマルチノズル電子ビーム供給ユニットも含まれています。これにより、オペレータの介入なしに静電容量結合プラズマ源を事前にプログラム可能で自動制御できます。プラズマ源の電力を正確に制御し、高スループット、高収率の製造を可能にします。自動化されたウェハハンドリングおよびRobotArmツール交換ツールにより、複数の基板を一度にAMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPリアクタにロードし、処理中に交換できます。これにより、プロセス時間が短縮され、製品作成コストが削減されます。さらに、製品出力の均一性と、製品作成にかかる納期の短縮を可能にします。全体として、AMAT P5000 MxPリアクタは、高度なシールド、プロセス制御機能、自動ウェーハ処理を備えたシングルウェーハ処理チャンバです。この原子炉は、高スループット、大規模な製造が可能であり、既存の製造ラインに統合されるように設計されています。