中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9398766 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIリアクターは、半導体デバイスの製造用に設計された先進的な半導体加工ツールです。この原子炉は、誘導結合プラズマ（ICP）を使用してプラズマエッチングプロセスを形成します。ICPは、イオン、電子、その他の粒子が励起するとプラズマを形成する交流電流（AC）です。このプラズマは強い電場を作り出し、化学反応の加速と材料のエッチングにつながります。AMAT P5000 Mark IIリアクタは、20°-200°Cの温度範囲を持つ排他的なロードロックと、リアルタイムの温度フィードバックを提供する高解像度LEDディスプレイで構成されています。また、サンプル診断機能とリアルタイム監視機能を備えており、サンプルの正確性とパフォーマンスを保証します。この原子炉は、エッチング中に均一なプラズマを維持するように設計されており、安定したプラズマ源を確保するために、自動高電圧波長イコライザによって可能になります。これは、プラズマの波長が電力、ガスの流れ、圧力によって異なることがあるため、エッチング中に信頼性の高い一貫した部品を作成するための重要な要素です。シングルウィンドウチャンバーと6 N2冷却誘導結合プラズマ（ICP）ソースにより、精度と再現性が向上し、スループットが向上します。このリアクターは、生産材料と試作材料の両方を処理するためのオプションのシングルウェハ操作も提供します。システムの効率を高めるために、経験豊富なAMATエンジニアのチームがRFチューニングとトラブルシューティングを実行し、最適化とプロセス開発サービスを提供できます。このシステムのプロセス開発、自動化、監視をサポートするサポートソフトウェアもあります。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIリアクターは、信頼性の高い費用対効果の高い製品を実現するために不可欠な、再現性と再現性の高い方法で、単一のウエハプロセスで半導体デバイスを製造することができます。その結果、P5000 Mark IIは、すべての半導体デバイスの種類の産業用製造に最適なツールです。