中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9356928 を販売中
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ID: 9356928
ウェーハサイズ: 8"
PECVD System, 8"
(3) Chambers
Process: TEOS, TEB, TEPO
Throttle valve, P/N: 0010-76174
SACVD Gas box
Pressure transducer, P/N: 122BA-01000EB-S
Transducer, P/N: 627A-13267
Mass Flow Controller (MFC), P/N: LF-310A-EVD
Gases: N2, O2, NH3, He
(3) Lamp assemblies, P/N: 0010-09978
(3) RF Match assemblies, P/N: 0010-09750
(3) 5000 / 5200 CVD C-Plug throttle valves, P/N: 0010-37151
Remote control liquid injector, P/N: 0010-09886
ASTEX AX8200 Ozone generators:
(2) AX8200A-CE, P/N: 0190-35870
AX8200A, P/N: 0190-09437
(3) ENI OEM-12B RF Generator, 1250 W
(3) ADCS Gas box and controllers
(3) ADCS A1 Signal interface modules
(3) ADCS Automatic purge controllers
(3) ADCS BRC 22A Integrated refill controllers
(3) ADCS 969 Low level monitors
Ozone generator rack
Gas, shower head box
Cables.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Reactor装置は、半導体関連生産のために設計された最先端の原子炉です。AMAT P5000 Mark IIリアクターは、薄膜成膜からエッチング処理まで、あらゆるものに最適です。さまざまなプロセスチャンバーにより、Mark IIリアクターは精度と性能の完璧なバランスを実現します。Mark IIリアクターは、熱均一性、圧力制御、低コストの電子サブシステムなどの高度な機能を備えており、ユーザーに質の高い蒸着とエッチング体験を提供します。応用材料P 5000 MARK IIリアクターには、デュアルビームマルチプロセスチャンバー(DBMPC)と呼ばれるユニークな機能が含まれています。このチャンバー機能は、1つのチャンバに2つの原子ビーム源プロセスを組み合わせることができる多機能チャンバーです。これにより、ユーザーは1つのチャンバー内で堆積とエッチングの両方のプロセスを実行する柔軟性を提供します。Mark IIリアクターは、低コストの電子サブユニットを使用して、チャンバー環境内の基板温度を正確に制御できます。機械は600°Cの温度に達することができます、全体の基質上の1%以内の温度の均等性と。効率的な真空工具により温度均一性を高め、チャンバー圧力を低く安定させます。Mark IIリアクターには、高度なプロセスガス混合プログラムが装備されています。混合プログラムは、所望のプロセス結果を達成するために時間、流量、圧力、温度を制御します。この機能により、正確なプロセス制御が可能になり、非常に高い精度と再現性でプロセスを行うことができます。Mark IIリアクターは、ユーザーと機器を保護するための安全資産で設計されています。安全モデルには、複数の安全センサー、温度センサー、インターロックが含まれており、ユーザーの安全と機器の信頼性を確保します。AMAT P 5000 MARK IIリアクター装置は、半導体関連の生産に最適です。高度な機能、精密な温度制御、高度なプロセスガス混合および安全システムにより、Mark IIリアクターは半導体業界のユーザーにとって最高の選択肢です。
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