中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9300021 を販売中
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ID: 9300021
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
CVD Etcher, 8"
Mainframe
Mainframe cables
Chamber A / B / C:
Type: DCVD Universal
Process: SA / Delta / TEOS
Process kit: Plasma C-chuck
Manometer: Dual 20-1000 Torr/MKS
Clean method: RF Clean
Throttle valve: Direct drive dual spring W/C plug
ASTEX AX8200 Ozone generator
Gas box MFC: UNIT MFC
Lamp driver
RF Gen I / II: RFDS 2000-2V/RFPP LF-5
RF Match: Phase IV
Chamber D:
Process: Sputter etcher
Process kit
Manometer: Single Torr/MKS
Clean method: RF Clean
Throttle valve
Turbo pump
Magnet driver
Gas box MFC: UNIT MFC
RF Gen I / II: ENI OEM 12B
RF Match: Phase IV
21-Controller slots
SBC Board type: V21 SYNERGY
Boss ROM version: E4.8
Video board type: VGA
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Robot type: Phase III
Auto-load / Unload cassette handler
Silicon-Tin-Oxide (STO) elevator type: 15-Slots
WPS Sensor
I/O Wafer sensor
Loadlock Purge
Loadlock Slow vent
Slit valve type: ZA Slit valve
Hot box version: Version IV
Top / Standard exhaust line
(28) Gas line panels
HAMART-4 Ozone monitor
Mini controller
Chiller
Safety module: (2) EMO Switches
Remote frame
EMO Switch
Expanded VME: (15) Slots
No Monitor rack
CRT Monitor
Light pen
Service monitor rack
Miscellaneous:
No Hard Disk Drive (HDD)
Transformer
Laminar flow hood
No mainframe cover
Load lock chamber:
Robot type: Phase III robot
Robot blade: 8"
Continuous purge
Center finder board
TC Gauge
ATM Switch
Vacuum switch
Vacuum sensor (TC)
System electronics:
(2) TC Gauge boards
+12 VDC Power supply
+15 VDC Power supply
-15 VDC Power supply
Buffer I/O board
AI MUX Board
Optical sensor boards
Chopper driver boards
Pneumatic control PCB
Main DC power supply
VME Controller:
Intelligent interface board
Missing SBC board
SEI Board
Co-processor board
(4) AI/AO / AI/O Boards: (1 AI and 1 AO)
Missing video board (VGA)
(4) Stepper boards
(4) DI/DO / DI/O Boards (7)
System misc:
Remote wiring dist board
System wiring dist board
No I/O Distribution board
Mini controller
Heat exchanger
Process / A / B / D
Mark II TEOS / CVD TEOS / CVD TEOS
RF Generator 1 / RFDS 2000-2V / RFDS 2000-2V / RFDS 2000-2V
O3 Generator / AX-8200 / AX-8200 / AX-8200
LF Generator / RFPP LF-5 / RFPP LF-5 / RFPP LF-5
TC Gauge
Isolation V/V / Cluster type
Interlock:
Coolant flow
Half ATM switch
Lamp module
CVD Lamp driver
Lift assy:
Susceptor lift assy
Wafer lift assy
Gas panel:
Gas panel interface
Expanded gas panel PCB
Standard or expanded module
Air maker
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIリアクターは、強力で大規模な生産プラズマエッチングおよび蒸着装置です。このシステムは、メモリやロジックチップなどの集積回路や、ディスプレイパネル、センサー、その他のマイクロエレクトロニクス機器の製造に広く使用されています。独自の高密度の誘導結合無線周波数電源プラズマ源を使用して、基板と反応して所望のプロセス結果を作成するイオン化ガスを作成します。AMAT P5000 Mark IIのエンジンは真空チャンバー、マイクロ波発電機、サポート構造、および高出力RF発電機で構成されています。高出力RFジェネレータは、13。56MHzの周波数で最大200,000ボルトの電界を生成します。この高出力フィールドはプロセスガスをイオン化し、エッチング処理と蒸着処理を完了できるプラズマを提供します。発電機はまた、堆積速度と温度を制御するので、最終結果を正確に制御することができます。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIリアクターの反応ガスは、塩素と窒素ベースのガスを含む化合物の組み合わせで構成されています。これらは基板と反応して、エッチング、堆積、受動などのさまざまなプロセスを作成します。原子炉はまた、酸素アッシングおよび化学機械研磨(CMP)プロセスを実行することができます。P 5000 MARK IIリアクターは、高い安全性を確保するために、数多くの安全機能と自動化を備えています。例えば、原子炉は、潜在的に危険な環境から機器とオペレータの両方を保護するために不活性ガス充填チャンバー内に収容されています。さらに、このユニットには温度モニターとアラームマシンが含まれており、温度が一定のレベルを超えるとツールをシャットダウンします。結論として、Mark II P5000原子炉は、蒸着速度と温度を正確に制御する強力で高度なプラズマエッチングおよび蒸着資産です。ICなどの電子機器の製造に広く使用されており、大量の生産と安全のために設計されています。
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