中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298984 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、半導体デバイス製造に使用されるシングルウェーハ電気化学反応器です。AMAT P5000 Mark IIは、堅牢なチャンバー構造と複数のパドルシステムを組み合わせたユニークなデザインで、高いスループットと低粒子の汚染を可能にします。部屋の設計は8リットルの部屋容積の熱壁構造から成っています。チャンバーは完全に密閉されており、従来のコールドウォールセットアップよりも高い圧力を可能にします。パドルシステムには、2つの上下パドルとヒーターサポートアセンブリが含まれています。この設計により、プロセス全体でウェーハが均等に間隔を空けて攪拌されるため、ウェーハの高いスループットを実現します。このチャンバーは、ステンレス製のチャンバボディ、真空フィットのチャンバリッド、Oリングのチャンバリッドシール、テフロンコーティングされたチャンバウォール、クォーツラインヒータブロックで構成されています。Mark IIはまた、統合されたperistalticポンプを備えており、化学物質や反応剤の正確かつ効率的な配送を可能にします。ポンプのプログラマブルコントローラは、正確なポンプ速度と化学流量を可能にします。Mark IIはまた、選択可能なデュアル電圧動作、複数の冷却オプション、および加熱された排気真空などの追加機能も備えています。加熱された排気真空はプロセス全体で一貫した温度を維持しますが、冷却オプションは反応速度を制御するのに役立ちます。マークIIには、ガスパネル、ガスレギュレータ、バルブ、および複数のポートキャパシタンス結合プラズマ（CCP）ソースなど、さまざまな追加アクセサリを装備することもできます。これらのアクセサリーは、エッチング、酸化、沈着など、さまざまな処理タスクを可能にします。全体として、APPLIED MATERIALTS P 5000 MARK IIは、半導体デバイス製造用に設計された堅牢で効率的で信頼性の高いシングルウェーハ電気化学反応器です。最大チャンバー圧力2。5 torrのホットウォールチャンバー構造、高スループットのマルチパドルシステム、精密なフロー制御のための統合されたペリスタルポンプ、さまざまな処理作業のための複数のポートCCPソースを備えています。