中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9213673 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIはマルチチャンバー、マルチゾーン、in-situ蒸着炉です。超高真空中の様々な薄膜材料のハイスループット蒸着用に設計されています。AMAT P5000 Mark IIは、高度なマイクロゾーン技術を備えており、堆積領域全体にわたって優れた均質性と温度均一性を提供します。これにより、正確で再現性のある薄膜蒸着結果が保証されます。装置は特別な均等性および沈殿率を特色にします。このシステムには2つの独立した真空チャンバがあり、複数の基板上の薄膜蒸着と薄膜エッチングの両方の蒸着条件を同時に最適化することができます。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIに搭載された高度な高速モーションコントロールは、基板位置、結晶成長方向、粒子沈着を最適化します。さらに、赤外線加熱、超低放射熱蒸発、急速熱アニーリングなどの高度な加熱オプションも、さまざまな薄膜プロセスで利用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIは、堅牢な真空環境で最高の性能を発揮するよう設計されています。このユニットは、酸化インジウムのコーティングされたコンポーネント、低コストの直視イオン源、および高度な反射測定を備えた世界初のエンドポイント検出システムを備えた自動再結晶プロセスを備えています。これにより、さまざまな現場監視システムからのフィードバックに基づいてプロセス条件を自動的に調整することができます。AMAT P 5000 MARK IIは、その現場での電子顕微鏡の自動化でも高く評価されています。P5000 Mark IIは、柔軟性と拡張性を備えた優れたプロセス制御を提供します。高度なソフトウェアスイートと統合機能により、ユーザーはさまざまなリアクタからレシピを転送したり、環境や基板を変更するときにレシピを別のプロセスに使用したりできます。このアセットは、幅広い蒸着プロセスのための高度なプロセス柔軟性と異なる材料の組み合わせで設計されています。結論として、P 5000 MARK IIは、さまざまな材料の超高真空薄膜蒸着用に特別に設計された高度なマルチチャンバー、マルチゾーンリアクターです。このモデルは、高度なマイクロゾーン技術により、柔軟性、拡張性、拡張性、優れた均質性を備えた優れたプロセス制御を可能にします。また、自動再結晶プロセス、酸化インジウム、低コストのダイレクトビューイオン源、エンドポイント検出など、さまざまな高度な機能を備えており、各プロセスが正確かつ確実に提供されます。