中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、200mmウェーハ加工用に設計された半導体加工炉です。赤外線ヒーターを使用し、アニーリング、酸化、沈着など、さまざまなプロセスで高温での急速なサーマルサイクルを可能にします。チャンバーは2つのスプリットゾーンとチャンバーで構成されており、両方のゾーンで独立した温度制御が可能です。モジュラー設計は、1つのプロセスから次のプロセスへの継続性を提供し、簡単な統合とプロセスの最適化を可能にします。マークIIには、高アスペクト比エッチングチャンバーのオプションもあります。Mark IIは、トータルシステム圧力と1000-5000 Torrの温度制御を備えたチャンバー圧力制御を使用しています。プロセス化学は、デュアルプラズマ源、in-situ排気プラズマ、およびガス化学管理によって提供されます。コントローラには、最高品質の結果と再現性を確保するための内蔵の診断システムが含まれています。Mark IIには、多周波制御のためのRFジェネレータ、温度および圧力安定性のための自動チューニング、温度ドリフト補償のためのインテリジェント導体、およびより良いRF効率のためのインテリジェント電極など、さまざまなハードウェアとソフトウェアの進歩が組み込まれています。これにより、Mark IIはより高い収率、より厳しいプロセス許容度、および熱均一性を達成できます。Mark IIに含まれるソフトウェアは、プロセスワークフロー監視、レシピスケジューリング、パラメーター最適化などの高度な機能も提供します。最後に、Mark IIは不可欠な三軸ロボットを備えており、ウェーハの積み下ろしを容易にすることができます。AMATは、200mmウェーハ製造のための経済的で効率的なオプションであるようにMark IIを設計しました。高度な機能と信頼性の高い性能を備えたAMAT P5000 Mark IIは、半導体加工に最適です。