中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9200095 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 9200095
Oxide etcher Optima type.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、高度な生産レベルのウェーハエッチング反応器装置です。この原子炉は、大量の製造作業を通じて、クラス最高のプロセス制御、安定した運転、優れた信頼性を提供するように設計されています。AMAT P5000 Mark IIは、RF電源、高度なガス注入システム、レーザーベースのエンドポイント検出器、および特殊なコンピュータプロセス制御(CPC)を備えています。このユニットは、精密でサブミクロンレベルのリソグラフィとエッチング機能を提供するように設計されており、非常に複雑で集積回路の生産を可能にします。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIのRF電源は、非常に効率的な速度で高い電力レベルを提供することができます。2段式ポンピングマシンは、エッチングプロセスをより良く制御するために、迅速かつ正確なガス注入を可能にします。レーザーベースのエンドポイント検出器は、エッチングパラメータを微調整するために使用できるエンドポイントエッチングプロセスに関するフィードバックをユーザーに提供します。CPCは、高度なプロセス制御と監視を提供する完全にコンピュータ化された制御ツールであり、生産性の向上、スループットの向上、プロセスの信頼性の向上を可能にします。P 5000 MARK IIには、ツール診断アセットと直感的なユーザーインターフェイスが統合されており、合理化されたトラブルシューティングとプロセスの最適化が可能です。この原子炉には、エッチングチャンバーとすべてのプロセスコンポーネントが不活性ガスで予防的にパージされ、制御された環境下で維持されることを保証する不活性な雰囲気モジュールも含まれています。P5000 Mark IIには、自動シャットダウン、アラーム、封じ込めプロトコルなどの広範な安全機能があります。これらの機能は、オペレータの安全性を確保し、製造プロセスにおけるより高いレベルの制御を維持します。さらに、AMAT P 5000 MARK IIはプロセスパラメータを保存して再現することができ、オペレータにウェハレチクルエッチング工程の理解を深めることができます。APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、高度なエッチング炉で、量産および自動化向上のために特別に設計されています。高出力のRF電源、ガスインジェクションモデル、レーザーベースのエンドポイント検出器、高度なコンピュータプロセス制御を備え、正確で正確なリソグラフィとエッチング機能を提供します。統合された安全機能、直感的なユーザーインターフェイス、および機器診断機能により、厳しい本番アプリケーションに最適です。
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