中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9196212 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは半導体産業の用途向けに設計された高性能な蒸着炉です。このハイエンド機器は、ユーザー固有の構成に対応するカスタマイズされた原子炉です。それはサブミクロンの均一性および例外的なプロセス機能を提供するように設計されています。システムのリアクタントは、ガス供給ユニットを介して反応ヘッドまたはサセプターに供給されます。使用される反応剤は用途によって異なりますが、シラン、酸素、ヘリウム、窒素、アルゴン、およびその他の関連ガスが含まれます。反応物質は反応室に注入され、それらが結合して反応性プラズマを形成する。このプラズマは、単結晶ウェーハからナノサイズの粒子まで、幅広い基板を生成します。AMAT P5000 Mark IIは2段階の設計で、複数の加熱および冷却ステージを可能にします。加熱は、誘導や石英ボートなどのさまざまな方法で行われます。冷却方法は、所望のレベルで温度を維持するマスフローコントローラに基づいています。ファラデーシールドを採用し、基板加工時にウェーハ上のプラズマ粒子を誘導します。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIには、3D制御ツールも搭載されています。これにより、プロセスパラメータの管理が向上し、異なるプロセスレシピにプログラムすることができます。この資産はまた、生産性と効率性を高めるために自動ローダーと統合されています。また、緊急停止、警報報告、事故時の自動電源停止など、さまざまな安全機能を備えています。P 5000 MARK IIはきれいになりやすく、維持し、特定の適用のために原子炉をカスタマイズするために改装することができます。これは、高品質の堆積と優れた歩留まりを保証する機能と優れた制御を強化したハイエンド機器です。