中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9170888 を販売中

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ID: 9170888
ウェーハサイズ: 6"
Oxide etcher, 6" (2) Chambers Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、重要なエッチング用途向けに設計された、高性能で自動化されたハイスループットプラズマエッチング炉です。この最先端の原子炉は、高精度で再現性のある半導体、金属、光学など幅広い材料をエッチングすることができます。AMAT P5000 Mark IIは半導体製造に特に適しており、基板全体にわたるエッチングレートの正確な制御と均一性を提供します。この原子炉には、高度なデジタルマイクロプロセッサコントローラとプログラマブルロジックコントローラが含まれており、エッチングプロセスを自動的に制御することができます。また、統合された現場監視装置を備えており、エッチング処理の進行を継続的に追跡し、即座に調整することができます。APPLIED MATERIALTS P 5000 MARK IIは、大型基板のバッチ処理に十分なスペースを提供する大型加工チャンバーを備えています。原子炉系は高精度エッチング用途向けに設計されており、その性能を最適化するいくつかの機能を備えています。エッジバイアスおよびパワーレベリング機能により、基板のエッジの制御エッチングが可能になり、エッチング速度が均一になります。AMAT P 5000 MARK IIは基板回転機構も備えており、複数の基板を同時にエッチングできるためスループットが向上します。その他の機能としては、自動エンドポイント検出ユニット、詳細なプロセスモニタリングを備えた高度な制御マシン、高解像度のデジタル顕微鏡、組み込み安全ツールなどがあります。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIは強力で汎用性の高いエッチングリアクターで、従来のプラズマエッチングよりも細かく正確なエッチングパターンを生成できます。高精度、柔軟性、再現性を備えた幅広い用途に対応できる、信頼性の高い高品質エッチングリアクターをお探しのお客様に最適です。
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