中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9162913 を販売中
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ID: 9162913
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
CVD system, 8"
P/N: 0010-09276
Input: 208V, 60Hz
(3) Nitride deposition chambers
Included components:
5000 / 5200 CVD Configured chamber P/N: 5834R A
5000 CVD Configured chamber P/N: 4347 A
5000 CVD Configured chamber P/N: 4347 B
5000 CVD 200mm Lamp module P/N: 0010-09337 Rev. A
(2) 5000 CVD Delta TEOS gas boxes P/N: 0227-01057 Rev. B
5000 Cleanroom loadloack chamber P/N: 0010-70067 Rev. W
5000 Cleanroom 8" Robot P/N: 0010-76015 Rev. P
5000 Cleanroom storage elevator P/N: 0010-76001 Rev. F
(3) 5000 Cleanroom slit valves P/N: 0010-70321
5000 Platform cassette handler bottom P/N: 0010-70001 Rev. L
5000 Platform Mini-Controller P/N: 0010-76036 Rev G
5000 Platform AC Channel P/N: 0010-09184 Rev. F
5000 Platform DC Power supply P/N: 0010-09181 Rev. J
(2) Modules mfg. Gold part precision 5000 No: 0010-09978 Rev. A
PCB Board P/N: 0100-09153 Rev. C Gas panel bd
PCB Board P/N: 0100-76181 Rev. A 5000 wiring distribution board
PCB Board P/N: 0100-09010 System electronics backplane
PCB Board P/N: 0100-09138 Rev. B Robot interconnect bd
PCB Board P/N: 0100-09146 Centerfinder sensor bd
PCB Board P/N: 0100-09106 Rev. F Expanded gas panel interface bd
PCB Board P/N: 0100-09107 Rev. E TEOS Gas panel interface bd
PCB Board P/N: 0100-35100 Rev. A
PCB Board P/N: 900168
PCB Board card P/N: 0100-09056 Rev. G Ceneterfinder sbc assy
PCB Board card P/N: 0100-20001 Rev. E System electronics interface bd
PCB Board card P/N: 0100-09299 Rev. C Serial sideboard assy
PCB Board card P/N: 0100-09054 Rev. H Analog input board
(2) PCB Board cards P/N: 0100-11001 Rev. D Analog output board
PCB Board card P/N: 0190-76050 Rev. B VGA video controller
PCB Board card P/N: 0100-09054 Rev. H Analog input board
(4) PCB Board cards P/N: 0100-00003 Rev. C Stepper drive
(6) PCB Board cards P/N: 0100-11002 Rev. F DI / DO
PCB Board card P/N: 0090-76110-A SEI
PCB Board card P/N: 0100-09055 Rev. H Liq. source sbc assy 0100-09024 Rev. F
(2) PCB Board cards P/N: 0100-09022 Rev. H Mini AI / AO bd
(2) PCB Board cards P/N: 0100-09136 Rev. D Mini DI / DO short circuit bd
PCB Board card P/N: 0090-09061 Rev. A Thermal electric driver
(2) PCB Board cards P/N: 0100-00008 Rev. K
PCB Board card P/N: 0100-09009 Rev. H Buffer I / O
PCB Board card P/N: 0100-09011 Rev. G Ai mux/current sense
(2) PCB Board cards P/N: 0100-00014 Rev. H Opto detect
(3) PCB Board cards P/N: LIS-3I-12 Lambda regulated power supply
(4) PCB Board cards P/N: AM5 Stepping motor drive
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、様々な基板上に膜を堆積させるために設計された先進的な生産炉です。このシステムは、お客様がディスプレイ、光学部品、医療機器などの無数のアプリケーションのためにフィルムを堆積することを可能にするために構築されています。この原子炉にはAMATの次世代True Impedance Matching （TIM）技術が搭載されており、従来の方法よりも高速で均一な蒸着速度を提供します。真のインピーダンスマッチングシステムは、フィルムの滑らかで制御可能な成膜のために基板に正確に電力を供給します。AMAT P5000 Mark IIは、誘電体、アモルファスシリコン、耐火金属などの幅広いフィルムシステムを実行することができます。また、原子炉は必要に応じて他の蒸着システムに容易にアップグレードできるように設計されています。さらに、APPLIED MATERIALTS P 5000 MARK IIは、300mm x 300mmの大きなチャンバーサイズを備えており、より多くのウェーハと基板を同時に処理することができます。管の設計はまた部屋の大気の完全性を維持するのを助け安定した処理環境を提供します。P 5000 MARK IIは、圧力、温度、電力、圧力、流量など、さまざまなプロセス変数を備えた柔軟性と精密制御も提供します。これにより、原子炉はさまざまな基板温度で粒子とエネルギー分布を正確に制御することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIにはインテリジェントでユーザーフレンドリーなインターフェースがあり、プログラムと操作が簡単です。さらに、漏れ検知や過圧安全配線などの安全機能が内蔵されているため、オペレータはシステムを使用する際に安全かつ安全に感じることができます。AMAT P 5000 MARK IIは、高度な機能と優れた性能を備えた強力で洗練された生産炉です。次世代のTrueインピーダンスマッチング技術は、柔軟性、精密制御、直感的なユーザーインターフェースと相まって、多種多様な蒸着アプリケーションに最適です。
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