中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9097804 を販売中
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ID: 9097804
PECVD System
Process: PO Nitride
(2) DCVD-LH Lamp heated chambers
8-Slot wafer storage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、高度なマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される半導体生産炉です。この装置は、原子レベルの蒸着プロセスを通じて、半導体ウェーハ上の超薄酸化膜の蒸着を可能にします。この技術は、トランジスタ、触媒、ディスプレイ部品などの半導体部品の量産に使用できます。AMAT P5000 Mark IIは、ハイスループットの真空蒸着システムです。6インチのウェーハ容量を持つロードロックチャンバーを備え、1時間あたり最大100個のウェーハを処理できます。このユニットは、電子ビーム蒸着技術を使用して、すべてのウェーハの表面積にわたる酸化物蒸着の均一性を確保しています。この高精度プロセスは、粗さが低く、厚さの均一性に優れたフィルムを製造するメリットがあります。アプライドマテリアルズP 5000 MARK IIは、アルゴンイオン源イオンを使用してフィルムをウェーハにスパッタします。このスパッタリングプロセスは、電子ビーム蒸発と組み合わされて、室温から1000°Cまでの広範囲の温度にわたるフィルムの均一な蒸着を提供します。この高温容量により、窒化物、酸化物、ケイ化物および複合膜の迅速かつ効率的な堆積が可能になります。また、高純度で欠陥の少ないフィルムを実現し、使用可能な半導体部品の収率が向上します。P 5000 MARK IIの設計により、湿式および乾式フィルムが次の処理段階に対応できるようになり、全体の生産サイクル時間を向上させることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIには、精密水晶モニターとコントローラが装備されています。これは、イオンビームのエネルギー、ビーム電力、発生角度、およびその他のプロセスパラメータを制御することにより、蒸着プロセスの品質を確保するのに役立ちます。このマシンには、操作と制御を容易にするための高度なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も装備されています。アプライドマテリアルズP5000 Mark IIは、半導体やその他の先進的なマイクロエレクトロニクス部品を製造するための高効率で汎用性の高いツールです。この原子炉は、すべてのウェーハにわたって優れた均一な蒸着を提供し、幅広い材料の迅速かつ均一な処理を可能にします。Mark IIの高度な制御ツールとユーザーフレンドリーなGUI P5000、信頼性が高く効率的な処理ソリューションをユーザーに提供し、すべての半導体デバイスの歩留まりと品質を最適化します。
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