中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9086795 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、薄膜などの化学成膜に使用される大規模なプロフェッショナルグレードの原子炉です。半導体材料やその他の集積回路部品の製造に使用されます。AMAT P5000 Mark IIは、2つの独立したヘッドを備えたステップアンドリピート装置で、それぞれに最大4つのプロセスチャンバー用の2つのスロットが含まれています。各スロットには最大3つのチャンバーがあり、薄膜成膜やエッチングなど、さまざまなプロセスに対応できます。デュアルヘッドアーキテクチャにより、システム構成時に高い柔軟性が得られます。Mark IIは、最大12インチのウエハサイズのロードロックユニットを備えています。シングルステッププロセスでスロット間のウェーハを移動できる自動転送機を備えています。このツールのモジュール設計により、簡単なアップグレードと再構成が可能になり、ユーザーの柔軟性が向上します。Mark IIには高真空ロードロックチャンバーがあり、最大10-3 Torrのプロセス圧力をわずか数ミリトールポンプで保持しているため、原子層成膜などの要求の厳しいアプリケーションに最適です。アセットはまた、プロセス雰囲気の迅速な制御を可能にする避難と通気モデルを提供しています。応用材料P 5000 MARK IIは、複数のガス源をサポートすることができるガスパネルを利用しています。ガスパネルには温度制御用の熱交換器が内蔵されており、最適なプロセス制御のためのガス混合物のリアルタイム調整が可能です。さらに、この機器には、個々のチャンバーI/Oと各ラインの独立した電源を構成するための高度な電気フィードスルーがあります。このシステムには、直感的なWindowsベースのコントロールユニットが装備されており、さまざまな機能の簡単な構成と制御を提供します。さらに、Mark IIは、プロセス開発とその後の操作を合理化するための組み込みレシピを提供します。安全面では、機械は偶発的な操作および緊急のオフスイッチを防ぐために安全連結用具を特色にします。さらに、AssetのESDS機能は、プロセスチャンバーを地上障害から保護し、周辺のすべての作業者にさらなる保護を提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIは非常に高度で信頼性の高い原子炉モデルであり、薄膜などの化学成膜に最適です。P 5000 MARK IIは、高真空ロードロックチャンバー、モジュラー設計、自動搬送装置、および組み込みの安全機能を備えており、薄膜成膜ニーズに応じて制御、精度、柔軟性を向上させます。