中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293622113 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、プラズマの力を利用して基板をエッチングする、広く使用されているプラズマエッチング装置です。AMAT P5000 Mark IIは一貫した信頼できる性能を提供するように設計された洗練された装置です。これは、低圧平行プレートプラズマチャンバーで構築され、最大25 kWの電力を持つ高周波RFジェネレータによって駆動されます。このシステムには、エッチングプロセス用の高真空レベルを作成する拡散ポンプも装備されています。アプライドマテリアルズP 5000 MARK IIは、2つの独立したソースガスと1つのポンプガスで構成されており、1回の実行で複数のエッチングアプリケーションを使用できます。ユーザーフレンドリーな設計により、迅速なプロセス設定と一貫した操作が可能です。P 5000 MARK IIはまた、多くの高度な制御機能を提供しています。プロセスガスのタイミングと濃度を正確に制御するプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えています。また、デジタルタッチスクリーンインターフェイスとプロセスパラメータの設定と監視を簡素化するソフトウェア、さらに分析のためのロギングデータを備えています。さらに、このユニットには、エッチング速度と品質を最適化するためのin-situ光放射分光法（OES）マシンがあります。P5000 マークIIは、硬質材料からポリマー、有機材料まで幅広い材料に適しています。エッチング速度は最大1mm/分で、ウェーハ全体の均一性に優れ、デリケートな基板での充電や静電容量はほとんどありません。さらに、簡単なメンテナンスと中毒の可能性の低減により、ツールの信頼性と費用対効果が向上します。アプライドマテリアルズP5000 Mark IIは、幅広いエッチング用途に適した高性能で信頼性の高いプラズマエッチング資産です。高度な制御機能を備えており、エッチング処理を正確に制御でき、使いやすく、メンテナンスも簡単です。