中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293596273 を販売中
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ID: 293596273
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Etcher, 6"
(2) Chambers
Gases: He, HCl, N2
NESLAB HX-150 Chiller
EBARA Pump
Indexers
Chuck type: Clamp
Standard frame type
Manual loader type
Automated cassette-to-cassette handling
Pumps
Controllers
Chillers
RF Matches
AC Power box
Generator rack
1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、半導体産業での使用に最適な高度なプラズマエッチングおよび成膜炉です。AMAT P5000 Mark IIは高度なプロセスを提供し、全体的なコスト削減に役立つバッチ処理の可能性を含む高性能とスループットを提供します。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIは、精密で再現性のあるプロセスを提供することができる完全に自動化されたPC制御のパーティクルエッチング装置です。APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、特許取得済みの自己校正技術により、プロセスパラメータの優れた制御を保証し、クラスタ内の多くのツールで一貫した結果を保証します。さらに、ウェーハを入力からシステムの出力に自動的に6軸ロボットで交換するようにプログラムすることもできます。原子炉のプロセス室はステンレス鋼構造で作られており、メンテナンスを最小限に抑えた高使用性に設計されています。AMAT P 5000 MARK IIは、指向性エッチングおよび追加のイオン源と組み合わせて化学交換を提供し、アプリケーションとプロセスの潜在的な範囲を増加させます。さらに、プロセス条件を監視するための内部光学機器や、均一でメンテナンスフリーな動作のためのパッシブ冷却アーキテクチャなど、さまざまな機能と機能を備えています。P5000 Mark IIは、Quartz、 Si、 GaAsなどのさまざまな基板と互換性があります。さらに、このツールには高精度のウェーハアライメントと位置決めシステムが装備されており、ウェーハを最適な位置に配置して均一で一貫したプロセスを保証します。P 5000 MARK IIは、プラズマエッチングプロセスの優れた制御と均一な結果を必要とするアプリケーションに最適で、高い精度と品質を提供します。自動化されたシステムと高度なハードウェアを組み合わせたAMAT/APPLIED MATERIALTS P 5000 MARK IIは、精密プロセスを必要とする多くの業界で使用できる先進的な原子炉です。
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