中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2 #9124577 を販売中

ID: 9124577
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Metal etcher, 8" Orienter (29) Slot elevator (2) MxP R2 metal etch (1) ASP 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2リアクターは、半導体特有の、次世代、バッチ型、化学蒸着(CVD)ツールです。モノリシック基板とパッシブ基板の両方に高度で大規模な生産能力を提供します。これは、高度なメモリとロジックチップ生産のための高スループットと低ディフェクト要件を満たすように設計されています。この装置は、アップグレードされた高効率設計と、温度、圧力、ガス流量、パルスタイミング、および化学反応剤の正確な制御を可能にする複数の独立した調整可能ゾーンを備えています。温度制御の向上により、より高い蒸着速度とより良いプロセス制御が可能になります。センサの数が増加すると、システムはプロセスを迅速に測定し、最大の均一性、再現性、および最高の歩留まりのために調整することができます。AMAT P5000 Mark II MxP R2リアクターには、アップグレードされた自動ローダーとアンローダーユニットがあります。これには、自動化されたアライメントと基板処理を可能にする機能認識マシンが含まれています。このツールは、標準の静電チャックキャリアに最大30の基板を収容できます。静電気チャックは、処理中のウェーハへの負担を軽減するように設計されています。アセットは、ウォーターチラー、エッジ効果を低減するための「ぐらつき」モーター、基板デワーモデル、加熱シールドガス配送、グロー放電クリーナー、同期カラーLCDモニターなど、さまざまなオプション機能を提供します。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP R2を使用すると、機器ユーザーはランタイムの向上、スループットの向上、所有コストの削減、操作性の向上、およびCVDプロセスに対する信頼性の向上が得られます。欠陥のない高性能基板を製造するために設計された、信頼性の高い堅牢なツールです。P 5000 MARK II MXP R2は、DRAM、フラッシュメモリ、ロジックチップなど、さまざまな生産アプリケーションに最適です。
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