中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I、通称AMAT P5000 Mark Iは、化学蒸着（CVD）用に設計された大容量高スループットツールです。APPLIED MATERIALTS P5000 Mark Iは、小型および大型の基板サイズの両方を処理することができ、プロセス開発および研究アプリケーションに理想的なソリューションです。基本構成は、CVDリアクタントの完全自動供給装置、40インチ基板ホルダー、プロセスフローを制御するための2つのガスボックス、反応室、および空気圧式の垂直リフトで構成されています。P5000 Mark Iは、高度なプロセス監視と制御のための新しい統合データ収集システムと、トラブルシューティングとプロセス最適化のための幅広い診断ツールを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark Iには、複数のガスを制御できるガス供給ユニットが装備されています。プロセスガスの配達は、2つのガスボックスを介して管理されます。ガスボックスは最大16種類のガスを収容でき、その後、マスフローコントローラを使用して反応室を流れる。反応室は直径20のステンレス鋼の並べられた円柱室です。1000°Cまでの温度と10 Torrまでの圧力が可能で、ウェーハ容量は11インチです。反応チャンバーは、プロセスガスの均一性を最大化するユニークなパルスパージングマシンによってパージされます。AMAT P5000 Mark Iは、反応チャンバ上のウェーハレベルを調整してプロセスパラメータの均一性と安定性を高める垂直リフトも備えています。それは空気道具によって運転され、反復可能な結果のために自動化することができます。さらに、RFエネルギーを必要とするプロセスのためのオプションのRF発電機を装備することができます。応用材料P5000 Mark Iは、信頼性と正確なCVD処理を可能にする高度な技術を備えた洗練されたツールです。プロセス開発や研究用途に効果的なソリューションを提供し、高品質の薄膜材料の生産を可能にします。統合されたデータ収集資産はプロセス制御を強化し、診断ツールは最適化とトラブルシューティングをサポートします。