中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9294421 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS オリンピアCMOSリアクターは、半導体製造におけるリソグラフィ性能を最大化するために設計された高度な技術です。この装置は30以上のフォトマスクを使用することができ、位相シフトマスキング、二重露光リソグラフィ、近接補正などの高度なリソグラフィ機能を備えています。この原子炉は、ピクセルを正確に配置し、露出を最小限に抑える独自の二重露出技術を採用しています。この機能は、解像度や精度に影響を与えることなく、製造効率を向上させます。AMAT Olympia CMOSリアクターは、軸外照明、干渉計、フォーカス洗練など、さまざまな解像度向上オプションも提供しています。さらに、このシステムは、ポリイミド、PE-CVDフォトレジスト、フォトレジストリフローなど、さまざまな材料を利用することができます。また、ウエハースループットと歩留まりの最大化を目的とした様々な高度な機能を備えています。これには、高密度充電結合装置（CCD）センサとクローズドループ・プロセス制御ユニットが含まれます。CCDセンサーを使用すると、最適なパターン配置と露出を素早く検出して調整し、可能な限り最高のリソグラフィ結果を得ることができます。クローズドループのプロセス制御ツールは、ウェーハの位置やプロセスパラメータを常にフィードバックして必要な調整を自動的に行うため、手動調整の必要性をさらに最小限に抑えます。ソフトウェア面では、APPLIED MATERIALS Olympia CMOSリアクターは、APPLIED MATERIALS Olympus lithography suiteの最新バージョンを。このソフトウェアプラットフォームは、パターン投影、歪み補正、チャンバーマッピング、エッジビーズ除去などの豊富な機能を提供します。さらに、Olympusスイートは、実際のウェーハ処理前にリソグラフィー処理をシミュレートすることも可能であり、オペレータに期待される結果を詳細に把握することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/Olympia CMOSリアクターは、幅広い半導体製造アプリケーション向けに設計された非常に汎用性が高く効率的なリソグラフィ技術です。このアセットは、高度なリソグラフィ機能、高密度CCDセンサー、クローズドループのプロセス制御、およびオリンパスのリソグラフィーソフトウェアスイートを備えており、比類のないパフォーマンスを実現しています。