中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympiaは、IC製造および半導体用途の薄膜の成膜用に設計された最先端のリアクタです。AMAT独自のコアアプリケーションエンジンであるAtomic Layer Deposition Technology （ALD）をベースとしています。AMATオリンピア原子炉は、特許取得済みの回転クワッドピンノズルを含む垂直気相体積で接続された2つの同心原子炉で構成されています。各原子炉は気相体積の4分の1を占めていますが、クアッドピンノズルは基板表面全体に均一な蒸着速度と均一性を提供し、効率的な気相分布を提供します。応用材料オリンピア原子炉は、金属酸化物、硫黄、窒素、塩素、ホウ素、およびその他の高誘電体材料を含む様々な材料を堆積することができます。均一な蒸着速度と均一性は、アプリケーションごとに再現可能なプロセスを保証するように設計されています。回転クアッドピンノズルは、ノズル角度、ノズル速度、気相濃度、スイープレートなどの調整可能なパラメータを使用して、蒸着プロセスを正確に制御できます。蒸着の正確な制御は、原子炉の自動ガス圧力監視によってさらに強化されます。これは、可能な限り一貫性のある結果を保証するのに役立ちます。オリンピアリアクターは、高度な自動熱管理も備えています。この機能により、基板加熱プロセスを正確に制御し、予測可能な蒸着を保証します。自動化された熱管理は、蒸着プロセス中の欠陥や熱損傷の可能性を低減するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALSオリンピア原子炉は、高圧窒素を使用して優れた成長制御を提供する統合ガスバルク供給システムを備えています。高圧窒素は一貫した沈着率を保証し、より高精度な結果を必要とするアプリケーションに不可欠です。また、原子炉はオートセンタリング機能を備えているため、基板の中心を容易にし、ずれによる損傷の可能性を低減することができます。AMAT Olympiaリアクターは、産業、研究、その他の用途で使用される汎用性の高い蒸着システムです。その信頼性と再現性により、繰り返し可能で長期的な蒸着プロセスに最適です。高度なサーマルハンドリングにより、正確な温度制御が可能になり、予測可能な蒸着速度と均一性が保証されます。高度なガスバルク搬送システムは、一貫したガス相の濃度を保証し、さまざまな材料の堆積プロセスを優れた制御を提供します。