中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #293665016 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia （AMAT Olympia）は、薄膜コーティングおよび材料の産業用成膜のために設計された強化プラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）です。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS）オリンピアリアクターは、革新的な誘導結合蒸着プロセスを備えており、材料を1ステップで表面に堆積させることができます。このプロセスは、高いレベルの品質と再現性を達成することができます。オリンピアは円筒状の真空チャンバーを備えており、高密度プラズマ源は下部にあります。プラズマ源は、ガス圧力、熱、電圧の組み合わせを使用してプラズマを生成し、リアクタントが拡散し反応する。反応物質はガスストリームによって基板に輸送され、プラズマからの反応種と混合されます。チャンバーの設計には、複雑な多層コーティング用の3面ウィンドウ、およびサイドウォールエッチング用の複数のサイドシールポート、および薄膜の迅速な再成成が含まれています。この機能により、チャンバーは1サイクルでエッチング、堆積、酸化などの複数のプロセスを実行することができます。チャンバーフロアには、誘導結合蒸着用の電磁コイルも収納しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Olympiaリアクターには統合されたオートメーションおよびプロセス制御装置があり、オペレータはさまざまな材料のプロセスパラメータをカスタマイズして設定することができます。これらのパラメータには、圧力、温度、RF電力、ガス組成、およびプロセス期間が含まれますが、これらに限定されません。AMATオリンピア原子炉には、堅牢な分析診断およびモニタリングシステムも装備されています。これには、ガスアナライザ、質量分析計、クアドラポールマスフィルタ、およびユーザーがさまざまなプロセス条件を監視できる高度な圧力制御および診断ユニットが含まれます。これにより、オペレータは歩留まりとスループットを最適化し、製品の信頼性と一貫した品質を確保することができます。さらに、高度なコンピュータ制御ソフトウェアは、分析やフィードバックのためのデータを分析し、記録する機能をユーザーに提供します。したがって、ユーザーはプロセスパラメータを継続的に監視および最適化するだけでなく、プロセスのトラブルシューティングと改善を行うことができます。APPLIED MATERIALS Olympiaは非常に信頼性が高く、ダウンタイムを最小限に抑。モジュラー設計とスケーラブルなデジタルアーキテクチャにより、柔軟性を高め、迅速な本番起動を可能にします。オリンピアは、薄膜コーティングと材料の産業用成膜のための先進的で信頼性の高い柔軟なツールです。マイクロエレクトロニクスデバイスから構造材料まで、高い再現性と精度で幅広い部品を確実に製造するために使用できます。さらに、プロセス制御機械と診断ツールは、品質と生産性の最適化に理想的な選択肢です。