中古 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP+ #293749249 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS MxP+は、次世代プラズマ強化CVD （PECVD）シングルウェーハリアクターで、高度な誘電性および金属膜の蒸着を実現します。この装置は、より優れたフィルム品質をもたらす、厳格なプロセス制御と最適化されたデバイスパラメータのための低コストのクラスタツール製造能力を提供するために構築されました。AMAT MxP+原子炉は、電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源を利用して高密度シース電位を生成し、より大きなイオン化された種がプラズマから逃げて低圧蒸着室に入ることを可能にします。また、このシースポテンシャルにより、電子出力がチャンバーから出るのを防ぎ、より高いイオン爆撃圧力を生み出します。さらに、独自の流体注入技術により、ウェーハ上のイオン密度を正確に制御し、最適な蒸着厚、接着、平坦性を実現します。このシステムはまた、汚染を最小限に抑え、一貫したプロセスを維持するために、所有コストが低く、密閉された真空チャンバーを備えています。応用材料MxP+リアクターは、優れた均一性、ステップカバレッジ、優れた熱的/機械的特性分布を有するALD、 High-K、およびLow-k材料などの高品質の誘電膜を堆積するために使用できます。さらに、原子炉はアルミニウム、銅、タングステンなどの金属膜を堆積させることができ、エレクトロマイグレーションに対する保護と導電性の向上を可能にします。さらに、MxP+リアクターは、半導体MEMSおよびオプトエレクトロニクス用途での使用に適しています。PECVD機能の強化に加えて、このユニットはプロセスの完全な監視と制御のためのいくつかの高度なセンサーも備えています。これには、イオンエネルギー、イオンエネルギー分布、プラズマ密度の測定が含まれ、プロセスパラメータのより正確なチューニングと堆積プロセスのより効果的な監視が可能です。このマシンは、外部プロセス制御ソフトウェアと自動フィードフォワードシステムと統合して、フィードバック制御を強化することもできます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS MxP+は、高度なPECVDシングルウェーハリアクタです。基板へのイオン化された種の輸送を改善し、プラズマパラメータを正確に制御して高品質のフィルム蒸着を実現します。また、統合されたセンサーにより、リアルタイムの監視とフィードバック制御、および密閉された真空チャンバーにより、汚染物質を排除することができます。これにより、半導体MEMSおよびオプトエレクトロニクス用途における先進的な誘電体および金属膜の蒸着に理想的なツールとなります。