中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series #9265323 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/MOORE 7700シリーズリアクターは、半導体産業で一般的に使用されるプロセスツールです。これは、比類のない温度均一性、強化されたウェーハスループット、および柔軟性を備え、さまざまなサイズのウェーハを処理するために設計された垂直炉装置です。AMAT 7700シリーズは、調節可能なプラットフォームの高さを備えており、オペレータはプロセス要件に合わせて炉を調整することができます。それに1600°Cまでの温度較差および優秀な温度の均等性があります、部屋を渡る厳密な、一貫した温度を可能にします。さらに、このシステムは、使用されたレシピに関係なく、優れた全体的なプロセスの一貫性のための高い再現性を提供します。7850の機能セットは、エンジニアリング、デザイン、機能性において優れたFabtech Product of the Yearを受賞しました。このユニットは、高速サーマルサイクリング（RTC）技術を使用して、ウェーハの処理時間を偶数時間から数分に短縮し、スループットを向上させます。また、1インチから12インチまでのウェーハサイズに対応し、オペレータがウェーハサイズを調整できる柔軟性を備えています。ムーア7700シリーズのチャンバーは、ステンレス鋼で構成されており、操作中に温度が維持されるように、革新的なセラミック断熱材を備えたチャンバーの壁と天井があります。このよい部屋の絶縁材はまた不必要なエネルギー使用法を減らしている間動作の間に用具のランニングクーラーを保つのを助けます。このマシンは、ホットガスとクールガスのリアクター技術を組み合わせて、ウェーハ上の適切な熱流量を可能にします。7850シリーズはさらに、モジュラーカセットからカセットへのローディング技術を備えており、ウェーハのバッチの迅速かつ簡単なローディングとアンロードを可能にします。ツールセンサは、要求の厳しいプロセスで一貫した再現性のあるパフォーマンスを提供するために、設計プロセスを正確に監視することができます。要するに、アプライドマテリアルズ7700シリーズリアクターは、高度なプロセスで使用される高性能ツールです。優れた熱均一性と再現性、柔軟なウェーハサイズと急速なサーマルサイクリングを提供し、全体の生産時間を短縮します。それはモジュラーカセット-カセット間のローディングの技術であり、部屋の絶縁材は全体的な効率および有効性にさらに加えます。