中古 AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5 #9358633 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5
ID: 9358633
ヴィンテージ: 2017
Etchers 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5は、高度な材料加工能力を生産ラインに追加しようとしているお客様に費用対効果の高いソリューションを提供する原子炉です。プラズマ蒸着およびエッチング機能とアニーリングおよび原子層蒸着(ALD)技術を組み合わせ、お客様に強力で統合された機器を提供します。AMAT MESA G5は、小型ジオメトリ回路のフルツールとして使用されるように設計されたマイクロフィールドエッチング・アニール・システムです。このユニットは、ブリッジ型の真空チャンバー、高度なプラズマ蒸着およびエッチングポケット、専用のアニーリングチャンバーで構成されています。ブリッジタイプの真空チャンバーは、エッチング処理を行い、原子精度に近い構造を作成します。また、アニーリング処理により、精密な構造で結晶材料を形成することができます。Advanced Plasma Deposition and Etching (APD-E)ポケットは、様々な成膜およびパターン処理を可能にします。APPLIED MATERIALS MESA G5は可変電源も備えており、異なる電力レベルで動作する柔軟性を提供します。モジュラー設計により、ユーザーの特定のニーズを満たすカスタム構成が可能になります。小規模なフットプリントと統合された自動メンテナンスルーチンにより、生産ラインの効率的で省スペースなソリューションにもなります。MESA G5は、ユーザーと周囲の環境を保護するためのさまざまな安全機能を備えています。真空の完全性を維持するための連結シールド、プロセスパラメータを調整するクローズドループ制御、汚染を防ぐための不活性な雰囲気保護を備えています。また、ガスの流れを監視および調整するためのガス制御装置と、チャンバーの均一な加熱および冷却のためのヒーター制御システムを備えています。これらの機能に加えて、AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5は、低消費電力の「乾燥」チャンバー設計により、凝縮とそれに伴う汚染と腐食を防ぎます。このツールはまた、最大の稼働時間と信頼性の高い長期的なパフォーマンスを確保するために簡単な操作のために設計されています。信頼できる性能、高度な機能、安全機能を備えたAMAT MESA G5は、お客様の生産ニーズに焦点を当てた安心感を提供します。
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