中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mainframe for Endura II #293666678 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Mainframe for Endura II
ID: 293666678
AMAT Endura IIメインフレームは、Endura Reactorファミリーの基盤となる強力な機器です。Endura IIメインフレームは、比類のない均一性、再現性、精度を備えた化合物半導体、MEMSデバイスなどの高性能材料の製造に適しています。メインフレームには独自の2ゾーン装置が搭載されており、各ゾーンで温度、圧力、ウェーハ転送を独立して制御することで、精密なマイクロ環境制御を実現し、優れたプロセス再現性を実現しています。メインフレームには180°のウェーハインデックス範囲があり、生産を1つのゾーンから他のゾーンに簡単に転送できます。インデックス作成モジュールは、転送が迅速かつ正確に行われることを保証し、各ゾーンの最大限の利用を可能にします。メインフレームには堅牢な監視システムがあり、ユーザーはすべての主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視できるため、プロセス全体で正しいプロセスが維持されます。Endura IIメインフレームは、生産から生産まで、優れたパフォーマンスと一貫した品質をユーザーに提供するために設計されています。ウェハローディングとトランスファーユニットは、異なる材料の高スループットと高収率の生産を可能にし、ユーザーはプロセス歩留まりを最大化することができます。このマシンは、ダウンタイムを最小限に抑え、信頼性を最大限に高めるように設計されているため、ユーザーはこのツールのパフォーマンスに自信を持つことができます。堅牢なマテリアルハンドリング技術を使用して、各ウェーハがローディングおよびアンロード中に確実かつ正確にロードおよび処理されるようにします。ウェーハローディングモジュールは、ウェーハのローディング、転送、クリーニングをできるだけ簡単かつ簡単に行うように設計されています。このアセットには、ウェーハ保持プラットフォームとヘッドが含まれており、最適なローディング、クリーニング、および製品の取り扱いのためにウェーハを整列させます。ウェーハ保持プラットフォームは、ウェーハサイズの広い範囲を保持するように設計されており、さまざまなウェーハサイズのための厳密なプロセス制御を維持することが容易になります。Endura II Mainframeは、最高のプロセス制御と優れた再現性を確保するために、プロセス全体において各ウェーハに対して高度なクローズドループ追跡機能を使用しています。クローズドループ追跡モデルは、ウェーハの位置を認識し、最適なプロセス制御のためにパラメータを調整します。ウェーハ追跡プラットフォームには、リモートでプロセスをリアルタイムに監視および制御するための拡張テレメトリー機器も含まれており、ユーザーはシステムが必要とするとおりに各プロセスの状況を監視および調整することができます。Endura IIメインフレームは、独自の高度なユニットであり、優れた精度と再現性を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。高度な機能、強力なシステム、堅牢なマテリアルハンドリング技術を備えたEndura IIメインフレームは、利用可能な最先端の原子炉システムの1つで信頼性の高い再現性の高い生産をユーザーに提供します。
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