中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000 #293658099 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000用ロードロックチャンバーは、さまざまなウェーハ処理およびエピタキシー用途向けに設計された汎用性の高い高性能リアクタです。ターボファン設計により、大型ウェハと小規模プロセスの両方に適しています。1000°Cまでの温度に達することができ、温度の均一性を向上させるために設計された厚膜加熱技術を備えています。この装置は、超高真空または低圧アプリケーションに適しています。RFマイクロ波源は、最適な位置決めのために可動プラットフォームに取り付けられています。AMAT Loadlockチャンバは、基板の準備要件に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。不活性ガス用途向けに設計されており、ガス環境と圧力を最適に制御できます。P5000チャンバーには、基板またはターゲット位置の独立した運動のための3つのユーロラックリニアアクチュエータを備えたマルチゾーンリニアステージと、すべてのプロセスパラメータを正確に制御するためのソフトウェアインターフェイスが備わっています。このチャンバーには、基板を回転させるためのポジショナーが追加されており、加工エリアに保管されています。応用材料P5000 Loadlockチャンバーには、熱1/4フィート測定用のセンサーバー、活性電子ビーム蒸着ユニット、紫外線照射源、イオンビームスパッタデフレクターなど、多くの有用な機能とアクセサリがあります。また、ロードロック式トランスファーチャンバー、多軸分離シーラー、ファラデーシールドを搭載し、正確なウェハ露出を実現しています。さらに、このチャンバーは、ライブセルイメージングユニット、光放射分光計、ラマン分光計、3Dプロファイラなど、さまざまな高度な診断ツールと統合することができます。幅広い基板サイズ・厚みに対応可能です。超高精度モーションコントロールエレクトロニクスを搭載しており、作業パラメータの簡単なセットアップと校正のために最大25の手動パラメータを格納する機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Loadlockチャンバーは、あらゆるタイプの基板調製に信頼性が高く、正確で反復可能なプロセス操作を提供します。