中古 AMAT / APPLIED MATERIALS iSprint #9311354 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS iSprintは、半導体デバイスの高度な量産用に設計された特許取得済みのリアクタモジュールです。これは、統合半導体生産装置（iSPR）の一部です。AMAT iSprintモジュールは、真空技術、高速デジタルエレクトロニクス、高度な真空プロセスを組み合わせて、高い歩留まりと小さな機能サイズを作成します。応用材料iSprintリアクターは、統合された真空システムです。その主な特徴は、多段高密度パワーコンバータ、高速デジタルエレクトロニクス、および高精度のサーマルポラチコンバータです。このユニットはチャンバーに統合され、RF生成およびパルス励起プロセスと組み合わせて、より高い電力、より速い制御、および改善された処理制御機能を提供します。マルチステージ高密度電源コンバータ（PPC）は、パワーハンドラとモジュレータの2つの独立したシステムで構成されています。PPCは、熱ポラチコンバータに直流または交流電流入力を提供し、より高い電力、より速い制御、および改善された処理制御能力を実現します。パワーハンドラは、入力電圧をより高いレベルに変換するために電圧乗算器を使用します。この電力は、ポラチコンバータに最適な電力レベルを確保するために変調器に供給されます。iSprintリアクタの高速デジタルエレクトロニクスには、パルス電圧と電流マシン、および異なるプロファイルで最大99個の同時パルスを制御できる専用のパルスコントローラが含まれています。それはプロセスの精密な制御を可能にし、優秀な力およびプロセス制御を保障します。AMAT/APPLIED MATERIALS iSprintは、高速パルス制御に加えて、波形の振幅と位相を正確に調整する周波数変調ツールも備えています。高精度熱ポラチコンバータ（TPCC）は、優れた熱伝達効率を保証し、プロセスのより正確な制御を可能にします。TPCCはAMAT iSprintリアクターの中核であり、加熱および冷却のためにレーザダイオードと高められた波長を利用しています。レーザーダイオードは、異なる温度で効率的な加熱および冷却に使用され、従来の加熱および冷却方法よりも信頼性が高くなります。アプライドマテリアルズiSprintリアクターは、高度なボリューム製造用に設計されており、メモリデバイス、ロジックデバイス、パワーエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスなど、さまざまなアプリケーションに最適です。統合システムにより、iSprintリアクターは高い収率と優れた機能分解能を提供します。PPC、高速デジタルエレクトロニクス、TPCCの組み合わせにより、AMAT/APPLIED MATERIALS iSprint原子炉は強力で効率的な生産資産となり、優れた製品歩留まりを保証します。