中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286 を販売中

AKT/Aktell Endura IIフロントエンドメタライゼーションリアクターは、集積回路（IC）製造に効率的かつ費用対効果の高い方法を提供する最先端の原子炉です。Endura IIは高い歩留まりと幅広いプロセスウィンドウを提供し、デバイスメーカーは最高の生産率を達成することができます。すべてのコンポーネントは、主要なICプロセスノードおよび制御技術との互換性のための厳しい要件を満たすように設計されています。フロントエンドメタライゼーションリアクターは、堅牢な物理蒸着設計原則を利用して、アルミニウムやタングステンなどの材料の超薄い均一な層を提供します。このプロセスは、基板から有機残留物を除去し、薄膜の沈着に備えるために、クリーンな事前沈着から始まります。蒸着中、キャリアガス中に超高純度の金属前駆体が急速に蒸発し、凝縮して基板上に薄膜層を形成することができます。このシステムは高性能の真空システムと統合されており、競争力のあるサイクルタイムと精度を実現しています。センサーフィードバックにより、プロセスのパフォーマンスが向上し、他のシステムがサブ50nmプロセスの要件を維持するのに役立ちます。プロセス制御には、プロセス制御と歩留まりを改善するクローズループ動作が含まれています。温度、圧力、感度は継続的に監視されます。Endura IIは、幅広い基板を正確かつ高速に加工するために設計されています。一度に最大6つの基板を含むことができ、直径12mmから300mmまでの基板を取り扱うことができます。最高温度650°C、最高速度600 RPMで、短時間で高精度な結果を得ることができます。さらに、Endura IIは幅広いプロセスガスをサポートし、様々な堆積レシピを可能にします。AMAT/Aktell Endura IIフロントエンドメタライゼーションリアクターは、IC生産に効率的なソリューションを必要とするメーカーにとって、信頼性が高く費用対効果の高いツールです。汎用性の高い設計により、幅広い基板やプロセス材料に対応できます。高性能処理機能とプロセス制御により、製造メーカーは最良の結果を達成し、困難なデバイスノードの要求を満たすことができます。超薄型の均一なレイヤーに対応することで、集積回路生産のための強力なツールです。