中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235981 を販売中

AMAT P5000リアクターは、化学および物理蒸着のフレームであり、精密制御コーティング用途に最適化された汎用性の高い装置です。これは、太陽光発電や自動車の電子金属化、厚膜金属化、アニールと拡散、エピタキシー、エッチング、スパッタリングなどの用途に最適な精密な温度および圧力制御プロファイルを達成することができます。フレーム自体は、ステンレスフレームで支えられた円形の水晶エンベロープで構成されています。これにより、上部と下部の両方が内部キャビティに入ることができ、効率的で省スペースの設計が可能になります。さらに、真空ポンプとガスマニホールドがエンベロープの外に配置されているため、キャビティ内の信頼性と制御性の高い処理条件が保証されます。内部キャビティには窒化ホウ素ファイアーブリックが並んでおり、信頼性と一貫した熱均一性を実現しています。この堅牢な断熱材は、マグネトロンスパッタリングや反応エッチングなどのプラズマ動作において特に重要です。さらに、フレームは最適な安定性プラットフォームを提供し、最大の動作条件下でキャビティのシールの完全性を維持します。ガスインレットマニホールドは、簡単にアクセスできるように設計されており、フレキシブルホースによってチャンバーベースに取り付けられています。入ってくるガスは、外部の混合ブロックにあらかじめ混合され、適切な混合物で直接チャンバーに供給されます。調整可能な圧力は、ガス制御バルブとパネルから監視できる圧力測定ゲージで構成されています。APPLIED MATERIALS P5000フレームの温度制御は、効果的かつ正確な熱分布のためのホットウォールタイプのフィラメントヒーターを利用しています。このヒーターは内部キャビティを取り囲む円形のフィラメントから成り、現在の調整装置によって望ましい温度を達成するために制御されます。チャンバーには、リアルタイムの温度フィードバックを提供できる複数の熱電対も装備されています。優れた精度と精度で、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000フレームは、要求の厳しい沈着アプリケーションのニーズに最適です。堅牢な設計と調整可能な設定により、安全で一貫した操作が可能で、信頼性の高いパフォーマンスとプロセスの再現性が保証されます。