中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Etch chamber for MxP #9222737 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS MxP用エッチングチャンバーは、材料加工におけるエッチング用途向けに設計された高性能リアクタです。精密なエッチングと高品質なパターンを高精度かつ再現性に優れた装置です。これは、材料加工の広い範囲のための理想的な選択肢となる高度な技術的特徴の数を備えています。AMATエッチングチャンバーfor MxPは、デュアルチャンバー、ホットウォールエッチングシステムです。この設計には、異なるタイプの材料を同時に処理できる2つの独立したプロセスチャンバーが含まれています。モダンで均一な低エネルギーのイオンビーム源を搭載し、多種多様な材料で精密なエッチングを可能にします。このユニットは、ハイスループットでも一貫したエッチング結果を得るように設計されています。APPLIED MATERIALS MxP用エッチチャンバーは、エッチングの深さと厚さを正確に提供するための高度な多周波イオン光ターゲティング機能を備えています。それは最高の信頼性および稼働時間を保障するように設計されている高度の欠陥管理および欠陥の診断機能が装備されています。また、最適なエッチング性能を確保するために高度な温度制御を提供し、大気ガスからの汚染を最小限に抑えるために絶縁されたプロセスチャンバーを備えています。MxP用のエッチングチャンバーは、生産性を最大化するように設計された多数の追加機能を提供します。基板の積み降ろし用の統合ロードポートと、基板交換用の真空支援ウェハカセット転送デバイスが含まれています。また、プロセスパラメータの自動フィードバックを提供し、高品質のエッチングを保証するために設計された統合計測およびフィードバックモダリティも備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS MxP用エッチングチャンバーは、他の材料処理環境に容易に統合できるように設計されています。さまざまな接続インタフェースを提供し、さまざまな業界標準の材料加工ソフトウェアと互換性があります。このツールは、単一のオペレータによって操作されるように設計されており、簡単かつ効率的な操作を可能にします。AMAT Etch Chamber for MxPは、最新の材料加工アプリケーションのニーズを満たすように設計された高度で高性能なエッチング資産です。最新のイオンビームソース、高度な故障管理および故障診断機能、および統合された計測およびフィードバックモダリティを備えたこのモデルは、優れた再現性と堅牢な性能を備えた精密エッチングを提供します。