中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9401876 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、次世代半導体製造のプラットフォームです。製造工程における半導体ウェーハ上の先端材料の堆積のためのドーパント装置です。AMAT ENDURAは、イオンインプラント、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、プラズマ強化CVD、プラズマ強化化学蒸着、蒸着（PECVD）、金属-有機蒸着（Deposition）、化学蒸着（PECVD）精密なプロセス制御、優れた再現性、生産性の向上を実現するよう設計されています。APPLIED MATERIALS ENDURAプラットフォームは、高性能で先進的な安全機能によって差別化された1つのユニットに複数のチャンバーとプロセスソースを組み合わせています。原子炉室を自動的にロードおよびアンロードするロードロックと、イオン、前駆体、さらには反復可能なスパッタリング源を含むさまざまなコンポーネントに対応するように設計されたプロセスソーストレイが組み込まれています。また、ロボットウェハハンドリングもサポートしており、多数のウェハーを同時にロードおよびアンロードすることができます。このプラットフォームには多数の高度な機能が含まれており、正確なドーピング、優れたプロセス品質、およびより高いスループットを可能にします。ENDURAのプロセス制御システムでは、高度な診断機能を使用して、プロセスチャンバーとウェーハの両方を現場で監視し、優れた歩留まりと高いデバイス密度へのスケーリングのための包括的なプロセス最適化を可能にします。このプラットフォームには、避難用の高効率ターボポンプ、粒子の汚染を排除する静電チャック、遠隔監視および制御用の複数のインタフェースなど、一連の安全機能も備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAプラットフォームは、製造環境と同様の条件下で広くテストおよび検証されています。これにより、顧客は精密ドーピングと卓越した信頼性の恩恵を受けることができます。高度な安全機能により、プロセス全体で最大限のウェーハ保護を実現し、効率的な設計によりエネルギー消費を削減します。これにより、AMAT ENDURAは半導体製造に最適なプラットフォームとなります。