中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312919 を販売中

ID: 9312919
ウェーハサイズ: 6"
PVD System, 6" Load lock: Narrow body (Automated) Buffer robot: HP XFER Robot: HP Chamber A: PC Chamber B: Cool Chamber E: Heat Chamber F: Orienter-Degas Chamber 2: AL Body: Standard Magnet: Assy 11.3" SRC STD 1 Pedestal: Clamp DC Power: MDX-L12 CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump, 3-Phase Chamber 3: Hot AL Body: Standard Magnet: Assy 11.3" SRC STD 1 Pedestal: 101 DC Power: CMDX-L12 CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump Chamber 3: Ti Body: Wide body with shutter Magnet: Assy 11.3" SRC WB 18 Pedestal: Clamp DC Power: MDX-L12M and MDX-L12 CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump AC Rack Controller DC Power rack CTI-CRYOGENICS 8500 Cryo compressor CTI-CRYOGENICS 9600 Cryo compressor Missing parts: Loadlock cassette indexer assy Video PCB Hard Disk Drive (HDD) 5-Phase driver (3) DC Power supplies RF Power supply for PC chamber NESLAB Chiller.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA装置は、高速で正確な層と正確な厚さの超薄膜を生成するように設計された先進的な蒸着炉です。AMAT ENDURAは、エピタキシー、蒸着、リアクティブエッチング、アドバンストシステムの3つの要素で構成されるシステムです。ENDURA Chamberは、高精度で高品質のウェーハ基板を製造できる超精密熱真空加工チャンバーです。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA TEには、統合された先進ガスユニット、高真空ポンプモジュール、リアルタイムエンドポイント制御、RFジェネレータブロック、RF電源供給機が含まれています。AMAT ENDURA Cellは、ウェーハ基板上に堆積材料の層を堆積およびエッチングするために使用されるプロセスおよび堆積部品およびコントローラのフルレンジで構成されています。アプライドマテリアルズENDURA Cellは、低質量イオン源、高出力RF源、アノード、陰極および反応ガスライン、パルスLED、パルスレーザー、高電圧バイアス電極などの高度なガス分布部品を含んでいます。高度なガスツールは、蒸着プロセスを監視および制御するのに役立ちますが、RFジェネレータと高電圧バイアス電極は基板の電気的バイアスを制御します。ENDURAアセット全体は、高い再現性(+/-1A)と高いスループットプロセスレートで、ウェーハ表面全体に高精度で高精度な厚さの均一な蒸着層を生成するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALIES ENDURA Cellを含むモデル全体は、ユーザーフレンドリーで自己診断性があるように設計されており、拡張動作中でもユーザーに信頼性の高い高忠実性を提供します。AMAT ENDURA Cellは、統合されたガス装置、RFソース、および可変バイアスを備えており、複数のフィルムを並列に処理することができ、より高いスループットプロセスと所有コストの削減を可能にします。APPLIED MATERIALTS ENDURA TEは、低消費電力電源と小型フットプリントを備えた高効率な設計で、小型ラボに最適です。ENDURAシステムは、高精度で信頼性の高い蒸着プロセスを必要とするあらゆる業界に最適です。非常に効率的で、業界をリードする最先端の熱真空処理機能、ガスシステム、RFソースを備えており、優れた再現性、迅速な速度、正確な厚さを提供します。統合されたガスシステムと可変バイアスにより、蒸着プロセスを完全に制御できます。低消費電力と小型フットプリントにより、あらゆるサイズのラボに最適です。信頼できる、高忠実性の性能のために、何もAMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAの単位を打ちません。
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