中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体材料の製造に一般的に使用される高度なエッチングおよび蒸着炉です。非常に精密なナノテクノロジー部品を製造する能力は卓越しており、半導体業界において強力で信頼性の高いツールとなっています。AMAT ENDURAは、エッチングおよび蒸着プロセスに使用されるシングルウェーハリアクタチャンバーシステムです。チャンバーの形状は、プラズマや光フラックスの均一性を提供するようなものです。内部は2つの反対側の電極で構成されており、それぞれに13。56 MHzのRFソースを供給しています。アプライドマテリアルズENDURAのプラズマ源は、イオンの正確な配置を確保するために最適化され、厳密なプロセス制御につながります。これはまた、電界を最小化し、ドリフトを削減するのに役立ちます。リアクターの設計は、優れたエッチングの均一性とより正確な表面特性をもたらします。堆積プロセスは、特定の抵抗率、フィルム組成、およびドーパントプロファイルを達成するために調整することができます。ENDURAは、チャンバー内の環境を一貫した状態に保つために、シールドとシールドを使用して基板とプラズマを分離し、潜在的な損傷を低減します。これはまた、電界とドリフトを最小化するのに役立ちます。基板をさらに保護するために、原子炉にはチャンバー内の圧力を制御し、安全な動作レベルに保つ自動フラッシュポンプが装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには、マルチポケット熱分解ライナーや高純度ガスラインなど、スループットを向上させるための多くの貴重な機能があります。さらに、バッチモードでの操作の実行やウェーハスタックの管理など、プロセスを管理しやすくするために、システムをオートメーションと連携させることができます。AMAT ENDURAは、多くのオペレーションで使用される実績のある費用対効果の高いツールであり、プロセスの大幅な改善、汎用性、および優れた歩留まりを提供するように設計されています。その信頼性の高いパフォーマンスにより、小さな機能、歩留まり、コストが重要なプロセスに最適なソリューションです。