中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、単一の機器に蒸着およびプラズマエッチング機能を提供するように設計された物理蒸着（PVD）原子炉です。AMAT ENDURAは、ハイスループット環境で最高品質のフィルムと最高のパフォーマンスを提供するように設計されています。このチャンバーは、基板ホルダー、高周波ソース、チャック、ロードロックチャンバー、および二次ソースの5つのコンポーネントまで構成されています。基板ホルダーは、300mmまでの任意のサイズから複数の基板を取り扱うことができます。高周波ソースは、プロセスガス中の化合物を分解するために使用される高出力プラズマを作成するために使用されます。チャックはプロセス中に基板を保持する役割を果たしますが、ロードロックチャンバーは、基板を大気に暴露することなく積み下ろしすることによって汚染を低減するように設計されています。最後に、二次ソースはゲッターや他の化合物含有ガスを導入するために使用されます。アプライドマテリアルズENDURAのマルチゾーンControl™技術は、同じチャンバー内で複数の蒸着とエッチングを提供します。この技術により、オペレータはプロセス要件をユニットに完全にマッチさせ、可能な限り最高の製品性能を達成することができます。スパッタやプラズマを含む複数の成膜源を1つの基板に使用することができ、高いシート抵抗と高導電層の両方を可能にします。さらに、金属、誘電体、フォトレジストなど幅広い材料をエッチングすることができます。ENDURAには、プロセスの再現性と精度を確保するためのさまざまな自動化機能も装備されています。プロセス時間、温度、圧力設定などの自動化されたパラメータをプログラムして保存することで、オペレータに関係なく結果が一貫していることを確認できます。さらに、このツールには圧力コントローラや負荷ロックなどの安全機能があり、資産を運用する際のリスクを低減します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、高スループット環境で高性能で信頼性の高い性能を提供する強力な物理蒸着炉です。マルチゾーンControl™技術と自動化された機能により、オペレータは比類のないプロセス再現性で高品質のフィルムとエッチングを作成できます。