中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266616 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、さまざまな薄膜材料を成長させるために使用される高性能CVD （Chemical Vapor Deposition）プラットフォームです。ポリシリコン、窒化ケイ素、アモルファスシリコン、誘電体、金属層など、さまざまな薄膜を生成するために使用できます。ハイエンドのオートメーションにより、機器は再現可能な結果と生産歩留まりの向上を保証できます。このシステムには、生産スループットと効率を向上させるACELP （Advanced Epitaxial Lift-Off Performance）基板スタッカーローダーが装備されています。また、ユーザーは手動で介入することなく、迅速かつ正確にレシピを変更することができます。プロセスチャンバーは、幅広いアプリケーションのニーズを満たすように設計されており、プロセスの安定性、均一性、および制御の優れた組み合わせを提供します。このマシンは、高性能のマイクロコントローラを備えており、自動学習などのオートメーション機能を使用して効率と精度を向上させます。レシピの複雑さを軽減し、サイクルタイムを短縮するように設計されています。このツールはまた、強力なグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、ユーザーがプロセスを迅速に設定および制御するのに役立ちます。この資産は、プロセス監視と制御を強化するためのファクトリーオートメーションモデルと統合することができます。AMAT ENDURAリアクターは、幅広い機能を備えた信頼性の高い柔軟な装置です。大容量・中層用途の量産や、研究レベルの微細成膜に適しています。自動化された制御と堅牢なプロセス監視とレポートにより、このシステムは信頼性と均一な結果を提供します。このユニットの効率的で信頼性の高い設計により、幅広い薄膜成膜および超高真空アプリケーションに最適です。