中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266216 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体業界で広く使用されている確立された物理蒸着（PVD）ツールです。これは、プロセス条件の広い範囲にわたって高度で高性能な堆積を提供するように設計されています。AMAT ENDURA Reactorは、反応性ガスと前駆体を備えたシングルチャンバーまたはデュアルチャンバー真空システムを使用して、目的の材料を堆積させます。これは、自動圧力制御、高分解能圧力制御、表面粗さ改善のためのパルスリアクタントの流れ、および層の運動を最適化するための高度な反応制御など、材料蒸着の正確な品質を大幅に制御することを可能にする多くのユニークな機能を備えています。さらに、マイクロ波、電子ビーム、直流（DC）電力など、いくつかのプラズマソース技術を統合することができ、低温プロセスとより大きな制御を可能にします。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、高スループットの材料成長が可能で、広い領域にわたって均一または調整された層ごとの成長を提供します。それはサイズの数インチから数十インチに基質を処理する機能の大きい適用範囲が広い作業区域を特色にします。ENDURA Reactorは、信頼性を確保するために、プロセスが中断した場合にアクティブな汚染除去システムと自動シャットオフシーケンスを備えています。さらに利便性を高めるために、基板の積み降ろしを容易にするための自動ロボットドアを含めることができます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、プロセス・レシピ駆動のシンプルで一貫性のある操作と、処理時間を短縮するための並列複数の実行が可能です。さらに、モジュラー設計によりアップグレードが容易になり、技術やアプリケーションの変化に応じてAMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorが最新の状態に保たれます。AMAT ENDURAリアクターは、材料の成長品質とスループットを大幅に制御し、高度で高性能な蒸着能力を提供します。汎用性の高いプロセス、信頼性の高い動作、および簡単なアップグレードのためのモジュール設計を備えているため、半導体アプリケーションに最適です。