中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9265756 を販売中
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ID: 9265756
System, 12", parts system
Missing parts:
(2) Dry pumps for load module
Dry pump for transfer module
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA)は、最先端の3Dロジックデバイスを可能にするように設計されたハイスループット金属有機化学蒸着プラットフォームです。業界トップクラスのスループットを誇る1時間あたり最大500個のウェーハ始動と堅牢で信頼性の高い設計により、アプライドマテリアルズENDURAはデバイス製造のための強力なツールです。ENDURAは、高精度かつ高精度なVOC蒸着のための正確なハライド比制御を可能にする画期的なバイナリソース構成を特長としています。これにより、反応物質の濃度と反応時間を正確に制御できるため、ストイキオメトリックドリフトが最小限に抑えられ、製造性に優れています。さらに、最高の純度の蒸気供給システムを採用し、高い再現性と一貫したプロセス性能を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAの革新的なシャーシ設計により、温度、圧力、リアクタントの組み合わせなどの幅広い処理条件をサポートすることができます。高度な制御システムは、ゾーンごとの時間を再配置することができ、最も高度な処理条件が使用されていることを保証します。さらに、システムにはエンドポイント検出とプロセスのフィードバックを迅速に行う機能が組み込まれています。人間工学に基づいて設計されたAMAT ENDURAは、チャンバーコンポーネントへの容易なアクセスを可能にし、ハンズオンのメンテナンスとトラブルシューティングを提供します。この設計により、お客様の標準的なワークスペースに簡単に収まることができ、既存のロボットシステムやリフトシステムとも互換性があります。APPLIED MATERIALS ENDURAは、最高のプロセス性能と最高のスループットを必要とするお客様に、信頼性が高く、費用対効果が高く、高度なMOCVDプラットフォームを提供します。パフォーマンスと生産性の完璧なバランスを提供し、効率を高め、全体的なコストを削減します。ENDURAは、高度なデバイス製造のための信頼性が高く、堅牢で費用対効果の高いツールです。
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