中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9258297 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、高度な半導体デバイスの製造に使用するために特別に設計されたマルチモードプロセスプラットフォームです。このリアクタは、蒸気と液体プロセスの両方のステップでウェーハレベルの精度を提供し、業界をリードする再現性と一貫した結果を提供します。AMAT ENDURAリアクターは、ウェーハと基板の両方を正確に加熱および冷却する機能を備えており、最も複雑なプロセスを可能にする幅広い温度、圧力、流量範囲を提供します。最先端の設計により、熱処理とウェットプロセスの両方に適した動的熱管理が可能です。アプライドマテリアルズENDURAリアクターには、最適化された壁の閉じ込めが装備されています。この機能は、すべてのウェーハを同じ結果で処理できるように、プロセスの拡張性を提供します。動的熱管理は一貫した性能を保障するのを助ける急速な熱循環を作成します。ENDURAの発熱体は精密制御されており、一貫した結果を保証するために、レーザー干渉反射計（LIR）を使用してコーティングの均一性が確認されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、ユーザーに最大4つのウェーハを一度に処理する機能を提供します。これにより、1サイクルで複数のウェーハ処理が可能になり、スループットと効率が向上します。AMAT ENDURAのガス拡散マニホールド（GDM）は、すべてのウェーハに均一なプロセスを保証します。GDMは精度とプロセスの均一性を確保するために、洗練されたレーザースキャン装置を使用して製造されました。さらに、マニホールドの各モジュールは最大4つの個々のフロー制御環境を提供することができ、これにより原子炉をさまざまなプロセス要件にカスタマイズすることができます。応用材料ENDURAリアクターは、温度制御とプロセスの柔軟性を提供します。この原子炉は、2種類の温度制御を提供しています-静的システム、長期的な精度と高速温度追跡を可能にする動的ユニットを可能にします。どちらのシステムも、迅速かつ迅速にウェーハのロードとアンロードを迅速かつ一貫した方法で行うことができます。統合データ収集機（DIAS）は、ENDURAリアクターの性能とプロセスの安定性をリアルタイムで監視します。原子炉には、すべてのプロセスの発煙が安全に排出されるように徹底的な排気ツールが装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、高度な半導体デバイス生産の要求を満たす信頼性が高く、柔軟で汎用性の高い原子炉です。この資産は、柔軟で信頼性の高いプロセス制御と正確な熱管理を提供し、すべてのウェーハが一貫した結果で処理されることを保証します。AMAT ENDURA Reactorは、1サイクルで複数のウェーハ処理を可能にし、統合されたデータ収集モデルにより、すべてのプロセスが安全で信頼性の高いものになります。