中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9247381 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、磁気的に強化されたプラズマ源に基づく高度な反応イオンエッチング（RIE）装置です。基板や誘電層からパターンをエッチング（除去）するためのプラズマ補助蒸着プロセスを使用するマルチチャンバーツールです。このシステムは、IC製造、コンタクトエッチング、フォトレジストストリッピング、コンタクトホール形成など、さまざまなプロセスアプリケーションに使用できます。AMAT ENDURAユニットは、エッチングプロセスを正確に制御するための革新的なソリューションをユーザーに提供します。その核となる技術は、磁気増強プラズマ（MEP）源です。この独自の技術により、より高い収率と複雑な基板上の均一なフィーチャーサイズで、より反復可能で効率的なエッチング処理が可能になります。磁化されたプラズマ源は、RF電気ノイズを低減し、より広範なプロセスウィンドウを可能にします。応用材料ENDURA機械はエッチングプロセスの精密な制御を提供するように設計されています。マルチチャンバー構成により、ウェーハ表面の均一性と洗浄が保証されます。二重加工チャンバーにより、エッチングプロセスを汚染から完全に隔離し、異なるガスを使用して異なる材料を効率的にエッチングすることができます。このツールには、挑戦的な誘電体をエッチングするための広い圧力範囲（mTorrからhigh Torrまで）、正確な機能制御を可能にする高解像度の石英マスク、および高スループットエッチング処理など、いくつかの高度な機能があります。また、高度な監視およびプロセス制御システムを備えており、ユーザーにエッチングプロセスのリアルタイム制御を提供します。ENDURAアセットは、半導体、航空宇宙、医療、自動車などの幅広い業界で使用できます。基板損傷、汚染、歩留まり損失のリスクを低減し、より正確で効率的なエッチングプロセスを可能にするように設計されています。このモデルを使用することで、運用コストを削減し、より高いスループットを実現できます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA原子炉は、磁気強化プラズマ技術に基づく高度で効率的なRIE装置です。複雑な基板上のエッチングプロセスを正確に制御できるため、汚染、基板損傷、歩留まり損失のリスクを低減できます。さらに、高スループットのパフォーマンスを提供し、運用コストを削減し、収益性を高めることができます。