中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9235921 を販売中
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ID: 9235921
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
PVD System, 8"
Product wafer
Wafer shape: SNNF
Controller & system AC
Single Bd computer in controller: V452
EMO Function: Turn to release
Emergency off label
EMO Button guard rings
Shunt trip option
Smoke detector
Facility water flow interlock
Robot & monolith:
Buffer robot: HP
Transfer robot: VHP
Transfer robot blade: Original metal
Buffer robot blade: Original metal
Monolith bakeout heater DBI intk
UHV Pump:
Cryo pump: ONBOARD 8F
System monitor:
Monitor 1: Stand alone
Monitor 1: Cable length, 50'
No monitor select switch
Loadlock and cassette:
Loadlock type: Narrow body
Type: Index / Handler
Loadlock vents: Variable speed soft vent
LL Open / Close switch
Generator rack:
2nd Generator rack installed
2nd Generator rack smoke detector
2nd Generator rack water leak detector
Cable length, 1st to 2nd generator rack, 6'
2nd Generator rack water flow intk
Support equipment:
Neslabs
Neslab water resistivity indicator: Resistivity meter
Neslab drain port valve
No BOC heat exchanger on system
Cryo compressors: Water cooled
(2) Cryo compressors
Cryo lines: 3/4" x 50'
Cryopump controller type: 3 Phase controller
Cryopump water fittings
Signal cable length:
Mainframe to system controller, 50'
Mainframe to generator rack, 50'
Mainframe to cryo compressor, 50'
Main AC to system controller / System AC, 50'
System controller / System AC to prim gen rack, 50'
Main AC to prim gen rack, 50'
Main AC to pump frame, 50'
Main AC to neslab heat exchanger, 50'
Miscellaneous:
Water fittings: SST
Ar / N2 Vent manifold
Air fittings, 3/8"
Swagelok water & air fittings
System roughing pumps
EBARA Pump IF smart
Communications interface: GEM / SECE II
Cooldown chamber rough pump options:
EBARA Pump IF smart
System electrical:
Top control AC power feed
Circuit breaker: 343.8 A
Line frequency: 60 Hz
Small main AC power inlet hole
Line voltage: 208 V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは半導体部品の製造に使用される高精度リアクターです。優れたプロセス均一性と優れたファシリティスループットを実現するために設計されており、さまざまな用途に最適な高品質コンポーネントを生産できます。AMAT ENDURAは、高品質で均一な誘電体、ポリマー、その他の薄膜を製造することができる3 チャンバーPECVD（プラズマ強化化学蒸着）装置です。アプライドマテリアルズは、高度で汎用性の高いリアクタント濃度を使用することで、幅広いプロセスパラメータに対して優れた蒸着性能を発揮します。このシステムにより、幅広いリアクタの確立と維持が可能になり、幅広い製品ラインにわたって優れた均一性を持つ高度な半導体デバイスの生産が可能になります。ENDURAには、デジタルエッジサーバユニットやカスタム基板回転機能などの高度な機能もあります。これらの機能により、プロセスパラメータを管理する際の柔軟性が向上し、生産速度の高速化と信頼性の向上が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには直感的なグラフィックユーザーインターフェイスが含まれており、機械を簡単に制御および構成できます。AMAT ENDURAは、非常に精密な温度と圧力プロファイルを維持できる高効率の原子炉です。これにより、フィルム層の均一性を最大化するために材料が最適なレベルで維持されることが保証されます。アプライドマテリアルズENDURAはまた、最適な電気接地ツールを提供し、部品へのより良い電気接続と優れた製造結果を保証します。ENDURAのソフトウェアは、材料層の優れた均一性を確保するために、沈着プロセスの基板の動きやその他の重要なパラメータを正確に制御するために設計されています。アセットの構成により、生産を最適化するために特定のプロセスをバイパスすることもできます。直感的なユーザーインターフェイスにより、モデルを素早く簡単にナビゲーションできます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、強力で高度で精密なPECVD装置です。ファシリティスループットに優れた高品質な製品を生産し、半導体製造に最適なツールです。このシステムには、電気光学デバイス、スイッチ、レシーバ、および優れた均一性と精度を必要とするその他の半導体部品の作成に最適な幅広い機能と機能が含まれています。
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