中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9227874 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは高度で高性能な蒸着装置で、幅広い材料に対して高いスループットと厳密な均一性制御を提供します。AMAT ENDURAプラットフォームは、独自のプラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術で開発され、金属、誘電体、導体、半導体などさまざまな基板を堆積することができます。応用材料ENDURAの設計は、堆積、工業化、およびカスタマイズのプロセスを可能にします。ENDURAは独自に設計された3つのプロセスチャンバーを備えており、3つの別々の基板を同時に処理できます。これには4台のMFP-3Dロボットと2台のセラミック-メタルシールが別々に制御可能で、システムの機能を効率的に自動化できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、高精度温度、圧力、流量制御などのプロセス制御機能を備えています。AMAT ENDURAの純正エピタキシャル蒸着プロセスは堅牢で耐久性に優れているため、非常に高いステップカバレッジを持つ複雑なケイ酸構造の蒸着が可能です。このユニットは優れたフィルム均一性を備えており、3つのプロセスチャンバすべてで最大0。5％ ±まで均一に成膜することができます。これによりAPPLIED MATERIALS ENDURAは非常に信頼性が高く、さまざまな高性能な半導体デバイス構造の製造に貢献します。ENDURAの他の特徴は、その幅広いプロセス範囲と優れた再現性です。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAのプロセス範囲は業界で最も広く、単一の機械で幅広い材料の成膜と特性評価を可能にします。一方、プロセスの再現性は非常に精度が高く、再現性は± 0。5％です。これにより、再現可能な蒸着の精度と一貫性が一定期間実行されます。AMAT ENDURAリアクターのユニークな特徴は、カスタマイズと自動化の機会を備えた工業規模の生産をサポートする能力です。APPLIED MATERIALS ENDURAは、高度なウエハトラッキング機能と自動基板ローディングおよびアンローディングオプションにより、大量の基板を効果的に処理することができます。さらに、ENDURAはインラインメトロロジーなどの他のシステムと統合して、ツールをさらにカスタマイズすることができます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、優れた機能と精度を提供する高度で高性能な堆積資産です。幅広いプロセス範囲、自動化された操作、柔軟なカスタマイズの機会を備えたAMAT ENDURAは、高度な堆積ソリューションでプロセスをデジタル化しようとするあらゆる半導体製造設備や研究開発ラボにとって貴重な資産です。