中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9222234 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、さまざまな機能と機能を備えた汎用性の高い高性能プラズマエッチング装置です。超微細フォトマスクから半導体ウェーハまで、さまざまなエッチング用途に対応します。AMAT ENDURAは、さまざまな材料において、欠陥の少ない高アスペクト比の機能とほぼ完璧なエッチングの均一性を実現します。APPLIED MATERIALS ENDURAシステムの中心には、特許取得済みのExtorQTM電源技術があります。コンパクトでパワフルで汎用性の高いRFジェネレータで、優れた性能とプラズマプロセスの前例のない制御を提供します。ExtorQTM電源は、イオンエネルギー、イオン密度、プラズマ化学の単一ソース制御をユーザーに提供し、エッチングパラメータを正確に制御し、プロセス変動を最小限に抑えることができます。ENDURAはまた、高度なプロセス監視と制御機能の範囲を提供しています。このユニットのControl and Analysis Softwareパッケージには、プロセスの自動最適化ツールと実験設計機能が含まれています。また、リモートアクセスと監視をサポートし、リモートプロセスの最適化を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、PE-CD、 PE-BT、 PE-ODなどの幅広いチャンバーオプションも提供しています。各チャンバー構成は、さまざまな磁石構成と電子サイクロトロン共鳴（ECR）源を利用しています。AMAT ENDURA APPLIED MATERIALS ENDURA Total Chamber Control （ETCC）を追加することで、ユーザーは均一なビームパターンを確立することができ、異なるチャンバータイプ間で均一なプロセス結果を得ることができます。さらに、ENDURAリアクターはさまざまな自動プロセスレシピを提供し、ユーザーが再現性とスループットの向上を実現します。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAプロセスチャンバーには、基板管理（SM）およびロードロックモジュールが搭載されており、手動での介入を最小限に抑えて、効率的な基板転送と処理を可能にします。全体として、AMAT ENDURAリアクターは強力で機能豊富なエッチング機で、堅牢で信頼性の高いプロセスを提供します。ExtorQTM電源、高度なプロセスモニタリング、リモートアクセシビリティ、自動化されたプロセスレシピにより、APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、正確なエッチング結果とタイトなプロセス制御を必要とするユーザーに最適です。