中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203908 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9203908
ウェーハサイズ: 12"
Pre clean chambers, 12" Process: PVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体製造設備で使用される革新的なコンパクトな斜めエッジバッチプラットフォームです。SEMI準拠のプラットフォームは、優れたパフォーマンスを提供しながら、他のシステムよりも最大50%低い床面積を提供するように設計されています。AMAT ENDURAリアクターは、より効率的なプロセスを実行することができ、より高いデバイス数とより速いサイクルタイムを可能にするユニークな斜めエッジ設計を持っています。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、優れた加工性能を可能にするために、多くの最先端の技術を組み込んでいます。斜めエッジ設計により、加熱の均一性が向上し、スループット率が向上します。また、自動ドアシステムを備えており、オペレータは、単一の直感的なボタンを使用して、安全かつ迅速にチャンバーを開閉することができます。これにより、オペレータは、オペレータのエラーを最小限に抑えながら、チャンバー内で必要な加工材料を確実に使用できます。さらに、原子炉には高品質のセラミック材料が装備されており、耐久性と効率的なプロセスを保証します。また、その堅牢な機能により、アスペクト比の拡張やアスペクト比の向上など、急速に成長するテクノロジーノードのための積極的なウェーハジオメトリも可能になります。この原子炉はまた、+/-1。5 Cの温度均一性を提供し、より速く、より正確なプロセススループットを可能にします。高k誘電体などの難加工材料にも対応可能です。このユニークな機能により、先進的なデバイスアーキテクチャや新技術の要求に応えることができます。さらに、ENDURAリアクターには直感的なタッチスクリーンコントローラが搭載されており、複雑なレシピを簡単にカスタマイズしてプログラミングすることができます。これにより、リアルタイムでプロセスメトリックを監視しながら、ツールのパフォーマンスを最適化できます。オペレータは、異なるパラメータのリアルタイムのグラフィカルディスプレイを表示することもでき、より良いプロセス制御と歩留まり管理を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、進化を続ける今日の半導体製造技術の要求に応えるために設計された画期的なプラットフォームです。コンパクトな設計、最先端の技術、直感的な制御システムは、歩留まり、スループット、デバイス性能の最大化を目指す半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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