中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体製造および関連処理用に設計された、最先端のシングルウェーハまたはバッチリアクターです。エピタキシャル成長、蒸着、エッチング、酸化用途向けに設計された多目的ツールです。エッチング、蒸着および酸化プロセスはすべて1つの統合された単位で結合され、複数のプロセスツールの必要性を除去します。AMAT ENDURAは、大きなプロセス負荷での均一なエッチングと蒸着速度のための高性能コールドウォール設計と、柔軟で簡単なセットアップを備えています。APPLIED MATERIALS ENDURAには、潜在的な安全性と機械の故障を防ぐための高度な故障監視システムが装備されています。それは広い区域の上塗を施してあるシャワー・ヘッドおよび全体の工作物に均一なガスの混合および流れを配る螺線形の入口管が付いている独特な現代設計を備えています。このデバイスはエピタキシャル成長や低kフィルムの沈着などのプロセスに適しています。ENDURAは、4つのチャンバー設計により柔軟性を提供し、様々なプロセスのニーズに対応できます。AMAT/APPLIED MATERIALIES ENDURAは、急速熱処理（RTP）、リモートプラズマ洗浄、炎アニーリング、急速熱アニーリングなど、さまざまなプロセス技術オプションを提供します。このデバイスは、最新の急速熱処理（RTP）および高温アニーリング（HTA）にも対応しています。高速で高精度なひずみ選択アニーリングと高速炉アニーリングプロセスもサポートされています。AMAT ENDURAは、連続的なウェーハ加工を可能にし、高いレートと低圧で優れた温度均一性を提供するトップダウンチャネリングチャンバーを内蔵しています。APPLIED MATERIALS ENDURAには、ユーザーがプロセスパラメータを正確に制御できるオートメーション機能が豊富に搭載されています。これには、自動および半自動モードと完全な手動制御が含まれます。ユーザーフレンドリーなGUIとデータロギング機能により、セットアップとデータ収集の時間が短縮されるため、大量の生産およびハイテクなアプリケーションに最適です。ENDURAは、プロセスの強化と超清浄ダイの成長のための理想的な原子炉です。プロセスの一貫性を最大限に高め、低粒子の汚染を防ぎ、高度な半導体製造に最適なツールです。