中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202554 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体製造のために特別に設計された先進的な化学機械平面化（CMP）炉です。デバイスコンポーネントが堆積する前にウェーハ表面を覆い、平滑化、研磨するための重要なツールです。この原子炉は、統合された設計アプローチを利用して、さまざまな機械的および化学的プロセスを単一の機器に組み合わせることができます。これは、互いに独立して反対方向に回転する2つの150mmまたは200mmプラッタを備えたデュアルゾーン、ロータリースタイルのCMPプラットフォームで構成されています。プラットフォームには、精密DC制御モータドライブ、プログラム可能なパワーコントローラ、およびその場でのスラリー配信システムが装備されています。さらに、強力なデータ収集とリアルタイム機能を備えた高度な制御ユニットを備えています。これにより、高度なステッパー制御と基板のセットアップが可能になり、複数のレシピとプロセスパラメータを迅速に呼び出すことができます。これにより、最大4個の独立したプラッタと最大20個のプラッタを備え、高い生産性レベルを実現します。オペレータは、スラリーの種類、パッドの状態、圧力設定などの調整可能なパラメータを使用して、最大16のCMPステップのシーケンスを設定できます。AMAT ENDURAリアクターの機械的特徴は、先進的なモーションコントロールと減衰機能、ならびにウエハ接触力を正確に制御するためのゴムガスケットおよびソフトクリーニングパッドマシンが含まれており、均一で反復可能な材料除去率が得られます。応用材料ENDURAリアクターはまた、さまざまなプロセスのためのスラリーや化学物質の大規模な配列と使用できるように、高いレベルの化学的互換性を提供しています。このツールの化学的部分には、不要な粒子を根絶するための一連のインラインフィルタと、リアルタイムのプロセス調整を可能にするインラインプロセスモニタアセットが含まれています。スラリー配達モデルは重力供給され、プログラム可能なパワーコントローラと調整可能なスピードドライブの組み合わせによって調整されます。これにより、スラリー流量を完全に制御し、リアルタイムプロセスの監視と制御を自動化できます。ENDURAは柔軟で信頼性の高いCMPリアクターで、ユーザーに最高の精度、効率、再現性で複数のCMPステップを完成させる能力を提供します。このツールは、半導体の先進的な開発のための一貫した作業であり、ICメーカーはより高い収率とより小さなデバイスを生産することができます。強力な制御機能とモーションフィーチャーにより、高い精度と再現性を実現し、化学的互換性により、さまざまな用途で機器を使用できます。