中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202551 を販売中

ID: 9202551
PVD System AC Transformer.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、基板の信頼性の高い高性能処理のために設計された多機能装置です。半導体業界では、誘電蒸着、金属リフトオフ、メタライゼーション、絶縁絶縁などの高度なパッケージング、相互接続、3D統合プロセスに使用されています。AMAT ENDURAプラットフォームは、従来の原子炉の熱効果を排除して欠陥を低減しながら、優れた均一性と再現性を提供します。アプライドマテリアルズENDURAは、複数のプロセスモジュールを備えた完全自動生産装置です。このプラットフォームは、ウェーハプラテンと複数の熱帯を含むハイテクなチャンバーを備えています。プラテンは、サセプター、ウェーハホールディングリング、ウェーハリフトピンで構成されています。このプラットフォームはまた、高効率のガス供給システム、調節可能なノズル、自動材料ハンドラー、真空ポンプ、およびRF発電機と統合されています。さらに、ENDURAユニットは高度なプロセスコントロールを使用して、プロセス全体の優れた均一性と再現性を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAプラットフォームは、CVD、 ALD、およびPECVD処理の課題に対応するように設計されています。このマシンは、優れた信頼性と機器の稼働時間とともに、高いスループットを提供します。このプラットフォームは、高度な相互接続およびメモリアプリケーションのマルチスタック誘電蒸着に最適です。さらに、このツールは、毛布蒸着やリフトオフなどのさまざまな金属蒸着プロセスをサポートすることができます。このプラットフォームは、効率的で制御されたプロセス冷却と層伝達材料を提供し、欠陥の改善、熱安定性、およびフィルムステップカバレッジを可能にします。AMAT ENDURAリアクターは、自動化されたプロセスを利用してコストを削減し、収量を最大化します。25mmから450mmまでの基板サイズに対応しています。マルチチャンバー設計により、手動でのマテリアルハンドリングが不要になり、熱負荷の変化を最小限に抑えた再現性の高いプロセスが可能になります。さらに、APPLIED MATERIALS ENDURAプラットフォームは、調整可能なRF電源と周波数設定を備えており、ユーザーは最適な結果を得るためにプロセスを洗練することができます。ENDURAは、高度なパッケージング、相互接続、および3D統合アプリケーション向けの堅牢で信頼性の高い多機能ソリューションです。効率的な自動化プロセスにより、スループットと再現性を最大限に高め、優れた基板の均一性と表面品質を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAモデルは、調整可能なRF電源設定、ウェーハプラテン、および調整可能なノズルにより、様々な成膜プロセスにおいて最適かつ一貫した性能を達成するための強力なツールです。
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