中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA®リアクターは、薄膜材料で基板をコーティングするために使用される高度な物理蒸着（PVD）装置です。この高性能PVDシステムは、プロセスパラメータの精密制御と優れた材料使用率を提供し、高スループットとコスト削減を実現します。このユニットは、一貫した優れた性能と信頼性を提供します。AMAT ENDURA®は、基板チャックとガスパネルアセンブリを保持する水冷ステンレス製のチャンバーで構成されています。源の材料はガスパネルの中の密封された源の容器で握られます。電子ビーム蒸発器が源の材料をimmolateのために使用されます。得られた物質蒸気は拡散板を通過し、最終的に基板上に堆積する。ガスパネルには、パネルヒーター、光学表示窓、および前方の高貴なガス入口が含まれています。水分と酸素を含まない蒸着条件を確保するために、蒸着前に高純度の高貴なガスがチャンバーに導入されます。その後、ガスは統合されたマスフローコントローラ（MFC）を通過し、ガスの流れと蒸着の厚さを正確に制御します。電極基板チャックは床に取り付けられ、3つの同心円筒電極のセットで構成されています。基板温度を正確に制御するだけでなく、基板の加熱や冷却にも使用されます。さらに、チャックはチャンバー焦点面の基板回転と移動を可能にします。APPLIED MATERIALTS ENDURA®マシンには、蒸着プロセスを監視するための制御モジュールも含まれています。制御モジュールはコンソール、ソフトウェア、電源、インターロックツール、ポンプで構成されています。この資産は、優れたレベルの制御を提供しながら、簡単なインストール、メンテナンス、操作を容易にするように設計されています。ENDURA®リアクターは、信頼性の高い強力なPVDモデルです。それは精密な材料使用率、高いスループットおよび優秀な物質的な均等性を提供します。これは、多くの薄膜蒸着アプリケーションに最適なソリューションです。